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・二段式減圧構造の為、二次側圧力の変動が極めて少なく、安定供給が可能です。・ガス純度99.99%(真鍮)~99.999%(ステンレス)までのガス供給に最適です。
質量(kg)1.9
最大流量(L/min)70(P1=15MPa、P2=0.6MPa N2値)
標準流量(L/min)56(P1=15MPa、P2=0.6MPa N2値)
・二段式減圧構造の為、二次側圧力の変動が極めて少なく、安定供給が可能です。・ガス純度99.99%(真鍮)~99.999%(ステンレス)までのガス供給に最適です。
最大流量(L/min)70(P1=15MPa、P2=0.6MPa N2値)
標準流量(L/min)56(P1=15MPa、P2=0.6MPa N2値)
各種ガスを集中供給する場合、配管末端に取付け使用します。ガス純度99.99%(真鍮)~99.999%(ステンレス)までのガス供給に最適です。
質量(kg)0.8
最大流量(L/min)125(P1=3MPa、P2=0.99MPa N2値)
使用温度(℃)ー10~40
フィルター粗さ:1000メッシュ
使用ガスO2/N2/Ar/Air/H2/Heなど
標準流量(L/min)100(P1=3MPa、P2=0.99MPa N2値)
流れ方向右高圧
関連資料(1.12MB)
・バランス式構造の採用により、一次側の圧力変化に対する二次側使用圧力の変動が少なく、安定した供給が可能です。・ガス純度99.99%までのガス供給に最適です。
中規模のガス集合装置、供給ユニット等にご使用して頂けます。
仕様フィルタ粗さ(μm):40
材質本体:C3771B/ダイアフラム:NBR/弁材:PCTFE/その他:C3604B、SUS304、SUS316、PCTFE
質量(kg)2.8
使用温度(℃)ー10~40
接続入口:W22-14山(右)袋ナット(P当り)、出口:W22-14山(右)オネジ(R当り)
一次側圧力(MPa)25(最高使用圧力15)
二次側圧力(MPa)1.6(最高使用圧力0.99)
流れ方向右方向
関連資料(1.12MB)
各種ガスを集中供給する場合、配管末端に取付け使用します。コンパクトサイズで微圧制御ができる圧力調整器です。
質量(kg)1.2
最大流量(L/min)80(P1=0.5MPa、P2=30kPa N2値)
使用温度(℃)ー10~40
接続入口:Rc1/4、0.003~0.03(3~30kPa)
フィルター粗さ:200メッシュ
入口圧力(MPa)0.1~0.5
標準流量(L/min)10(P1=0.3MPa、P2=10kPa N2値)
関連資料(0.46MB)
出口圧力(MPa)0.003~0.03(3~30kPa)
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