微圧用圧力調整器
各種ガスを集中供給する場合、配管末端に取付け使用します。
コンパクトサイズで微圧制御ができる圧力調整器です。
質量(kg)1.2
最大流量(L/min)80(P1=0.5MPa、P2=30kPa N2値)
使用温度(℃)ー10～40
接続入口：Rc1/4、0.003～0.03(3～30kPa)
フィルター粗さ：200メッシュ
入口圧力(MPa)0.1～0.5
標準流量(L/min)10(P1=0.3MPa、P2=10kPa N2値)
出口圧力(MPa)0.003～0.03(3～30kPa)
内容量1台
関連資料：
(0.46MB)
注意
※本機器は微圧仕様のため入口圧力が変動すると出口圧力が安定しません。※本機器の上流には圧力が安定供給できる二段式圧力調整器の取付けを推奨します。
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