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取り出しやすく、積み重ねもできます。

取り出しやすく、積み重ねもできます。200mm以下のウェハータイプに適合します。

ウェハーの表を下にして収納します。 ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。 スプリングでウェハーを固定します。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます(品番が9で始まるもの、4で始まるものそれぞれでのみ可能)。

ウェハーを固定できます。