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真空機器のトラブルを未然に防止! ろ過度：5、40、80μm 大流量：max.660L/min(ANR) エレメントの洗浄による繰り返し利用が可能 水滴除去が可能 透明ケースガードでケース全周をカバー

取付支持形式：基本形、空気圧タイプ、オートスイッチ無 ・小型オートスイッチ(D-M9□型)2面に取付可能。 オートスイッチ正面から取付可能。 ・質量最大14%削減。 ・クッション付。 クッションニードル調整が容易。

耐食環境使用可能、SUS316材質。コンパクトな配管スペース

蒸気用(温水も使用可) 長寿命 300万回(メーカー試験条件による) 耐異物性向上 皮相電力低減 18VA→12VA、20VA→15VA コイル温度上昇値低減 120℃→100℃ 保護構造：IP65

・作業性向上 エレメントとケースの一体化により手元でのエレメント交換が可能と なりました。 ・メンテナンススペース削減 最大46%減 ・視認性&安全性向上 透明ケースガードでケース全周を覆いました。

・チャック機構と揺動機能をコンパクトに一体化。 ・搬送ラインのワークの把持・反転が1台で可能。 ・揺動範囲および角度の調節が可能。

ワークがなくても真空圧力の低下を抑制 ワーク変更による切換作業が不要 フィルタ内蔵(40μm) ワンタッチ管継手付

・配管方式 フランジ型、フランジボディ型、直管型 ・2次側のオリフィス加工不要で配管工数削減に貢献。(フランジボディ型) ・保護構造：IP65※ ・高温対応：使用流体温度100℃ ・ファストン端子タイプ追加。 ・専用コントローラ VXFCシリーズを用意。

・配管方式 フランジ型、フランジボディ型、直管型 ・2次側のオリフィス加工不要で配管工数削減に貢献。(フランジボディ型) ・保護構造：IP65※ ※リード線取出しファストンタイプ端子部はIP40 ・高温対応：使用流体温度100℃ ・ファストン端子タイプ追加。 ・専用コントローラ VXFCシリーズを用意。