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・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ。

・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ ・排気エア清浄度:ISO Class5(クラス100 Fed.Std.209D)相当 ・安心の2段エレメント構造 第1エレメント油飽和後、2次側に流出する油を第2エレメント捕集。 外部への再飛散を一定期間防止します。

・ボディ材質にNewPFAを採用、高い耐食性を実現しました。 ・クリーンルーム で組付、2重梱包(PAP331)。 また、サイドボディ、ポートは 成型部品 とすることで、より低発塵化を計りました。 ・ポンプのリセットボタンを手動で操作できる環境にない場合、このような回路を組んでエアの圧力でリセットできます。 ・外部の切換弁による制御のため一定サイクルでの動作が可能。 ・外部電磁弁のON/OFFサイクル数で流量調整が簡単にできます。 ・微少流量、気体巻き込み時の作動でも安定した運転が可能。 ・稼動・停止を繰り返す用途に向いています。