・コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ。
流体に接する金属は全てSUS316を使用
・禁油。
油脂類を一切使用しない部品構成
・2種類のダイヤフラム材質:PTFE、フッ素ゴム。
最高使用圧力(MPa)1
保証耐圧力(MPa)1.5
周囲温度および使用流体温度(℃)0~60(ただし凍結なきこと)
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
作動方式複動・片ロッド
外径で20%小型化(KQシリーズ比)し、より狭いスペースでの配管が可能。シール剤付きが標準仕様。銅系不可仕様(無電解ニッケルめっき付)。真空 -100kPa~使用可能
仕様銅系不可:黄銅部品すべて無電解ニッケルめっき付
形状六角穴付ハーフユニオン
色リリースブッシュ:ライトブルー
適合チューブ外径(Φmm)4
シールねじ部:シール剤付
ねじの種類M
使用流体空気、水
使用圧力範囲-100kPa~1MPa
保証耐圧力(MPa)3
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(0.98MB)
オーダーメイド仕様ノングリース仕様
ポート数2
チューブ内径(Φmm)20
作動方式複動
配管形式(-) 標準形
ポートねじの種類(-) Mねじ
ガイド追記号(C) カムフォロアガイド形
サイドシール(K) サイドシール付
チューブ内径(Φmm)32
シリンダストローク(mm)400
作動方式複動
仕様(-XC67) ダストシールバンドNBRゴムライニング仕様
配管形式(G) 集中配管形
ポートねじの種類(TF) G
ガイド追記号(M) すべり軸受ガイド形
サイドシール(K) サイドシール付
1個
¥92,980
税込¥102,278
10日以内出荷
チューブ内径(Φmm)32
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)25
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)32
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)16
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)25
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)20
作動方式複動
配管形式(-) 標準形
ポートねじの種類(-) Mねじ
ガイド追記号(M) すべり軸受ガイド形
サイドシール(K) サイドシール付
チューブ内径(Φmm)32
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)25
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)16
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)32
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)25
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)16
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)16
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)20
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)20
作動方式複動
配管形式(G) 集中配管形
ポートねじの種類(-) Mねじ
ガイド追記号(M) すべり軸受ガイド形
サイドシール(K) サイドシール付
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
長寿命:300万回(常温時)
発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm)50X336
軸数とシール形式1軸ベローズ
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
作動方式複動・両ロッド
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
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