チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動片ロッド
チューブ内径(Φmm)20
作動方式複動片ロッド
チューブ内径(Φmm)32
作動方式複動片ロッド
チューブ内径(Φmm)25
作動方式複動片ロッド
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動片ロッド
チューブ内径(Φmm)25
作動方式複動片ロッド
チューブ内径(Φmm)20
作動方式複動片ロッド
チューブ内径(Φmm)32
作動方式複動片ロッド
・スパッタ発生環境使用可能/難燃性(UL-94規格V-0相当)
用途スパッタの内部侵入
および付着によるチ
ューブ離脱不具合の
防止。
形状スパッタカバー
グリッパを2個以上取付けて電気配線を行う場 合、グリッパと増設用I/O端子の間に接続する ケーブルです。
用途RMMA用
仕様端末処理:ハーフストリップ
極数8
使用温度範囲(℃)-10~60
規格IEC61076-2-104準拠
定格電圧(V)DC 30
定格電流(A)1
キーイングA
導体AWG26
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
関連資料カタログ(4.59MB)
取扱説明書(2.03MB)
コネクタタイプM8 ソケット
1個
¥11,980
税込¥13,178
31日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
省エネエジェクタ
真空到達時供給エアカット:空気消費量93%削減(メーカー測定条件による)
エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較)
省エネ効果(金額換算):93%削減
高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上
供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用
FA環境における通信の安定性を実現
RoHS指令(10物質対応)対応
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
省エネエジェクタ
真空到達時供給エアカット:空気消費量93%削減(メーカー測定条件による)
エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較)
省エネ効果(金額換算):93%削減
高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上
供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
省エネエジェクタ
真空到達時供給エアカット:空気消費量 93%削減(メーカー測定条件による)
エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較)
省エネ効果(金額換算):93%削減
高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上
供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意
空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合)
質量最大60%削減[ZL1:180g→ZL112(従来品):450g]
3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比)
吸込流量250%向上
3種類の真空圧力検出部
工具不要!メンテナンス工数の削減が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
省エネエジェクタ
真空到達時供給エアカット:空気消費量93%削減(メーカー測定条件による)
エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較)
省エネ効果(金額換算):93%削減
高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上
供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用
定格電圧(V)(5) 24 DC
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
CE-対応品-
供給弁・破壊弁の組合わせ供給弁:N.C(SYJ3133);破壊弁:N.C(SYJ3133)
電磁弁定格電圧(V)DC24
破壊流量調整ニードルロックナットなし
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応。
省エネ機能付真空用デジタル圧力スイッチにより、真空到達時供給エアカット:空気消費量 90%削減
エジェクタの効率化により:吸込流量 50%増加、:空気消費量 30%削減(メーカー1段エジェクタとの比較)
小型・軽量化:体積88cm328%減、:質量81g 59%減
定格電圧(V)DC24
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)DC24
タイプボディ:マニホールド用
種類真空用圧力スイッチ
呼び径(mm)ノズル:Φ1.5
定格電圧(V)DC24
排気方式複合排気(直接排気、エンドプレート排気)
RoHS指令(10物質対応)対応
コネクタ仕様供給弁・破壊弁用集中配線仕様なし(プラグイン)なし;供給弁・破壊弁用個別配線仕様300mm(コネクタAssy);真空用圧力スイッチ用2m(コネクタ付リード線)なし;圧力センサAssy3m(リード線一体)なし
供給弁・破壊弁の組合わせ供給弁:N.C.・破壊弁:N.C.
真空(V)ポートΦ6
圧力センサ(圧力範囲)0~-101kPa、NPN2出力、単位切換機能なし(SI単位固定)
1個
¥28,980
税込¥31,878
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)0.3
排気方式(1) サイレンサ排気(個別排気)
ボディ形式(1) 単体(PV PD共通ポート)
ノズル径(Φmm)(03) 0.3
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力-84kPa
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力-84kPa
ボディ型式単体:バルブ+標準サイレンサ付
搭載パイロット弁DC1Wタイプ(ランプ付:1.05W)
真空ポート取出位置:側面、下面取出
オーダーメイド仕様標準
破壊流量調整ニードルロックナットなし
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