「故障」の検索結果
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CADデータあり
・故障予知機能内蔵。
・真空ユニットZXシリーズにモジュール可能。
・サクションフィルタ付。
CADデータあり
・故障予知機能内蔵。
・真空ユニットZXシリーズにモジュール可能。
・サクションフィルタ付。
電源電圧(V)DC12～24±10%、リップル(p-p)10%以下(逆接続保護付)
使用流体空気、非腐食性ガス、不燃性ガス
消費電流(mA)25以下
設定圧力範囲(MPa)0～0.98
繰返し精度±1%F.S.以下
CADデータあり
・多心ワンタッチ着脱。
・誤配管防止。
・ワンタッチ管継手付。
用途マルチコネクタは、パネルと機械装置の分離輸送や故障によるユニッ卜
交換などの省力に有効です。
CADデータあり
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
ねじの種類Rc
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)9.5
ねじの種類Rc
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
1個
￥55,980
税込￥61,578
10日以内出荷
CADデータあり
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)10
ねじの種類Rc
CADデータあり
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
RoHS
真空ライン中の水滴を除去
真空用機器の故障を未然に防止
質量：最大30%削減(AMJ40：0.42kg ← AMJ4000：0.6kg)
水滴除去率：99%以上
2層構造で優れた耐環境性
透明ケースガードでケース全周をカバー
優れた視認性 ： 360°
用途真空用
使用流体空気
保証耐圧力(MPa)0.5
表示単位kPa、℃
水分除去率(%)99
周囲温度および使用流体温度(℃)-5～60(凍結なきこと)
使用圧力範囲(kPa)-100～0
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(1.02MB)
取扱説明書取扱説明書(1.6MB)
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)30
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)15
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
ねじの種類Rc
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CE-対応品-
電磁弁定格電圧(V)DC12
搭載パイロット弁DC:1Wタイプ(ランプ付:1.05W)；ACタイプ
PV・Vポート管接続口径M5X0.8
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
リード線取出方法(LO) L型プラグコネクタタイプ/ コネクタなし
管接続口径(-) M5 x 0.8
エジェクタ排気形式(2) ポート排気 Rc 1/8
供給弁・破壊弁の組合わせ(K1) 供給弁/破壊弁：電磁弁 N.C.(V114)
電磁弁定格電圧(V)(5) DC24
破壊流量調整ニードル/ブラケットA：ロックナットなし、ブラケットA付
搭載パイロット弁DC:1Wタイプ(ランプ付:1.05W)；ACタイプ
ノズル径(Φmm)(07) 0.7
PV・Vポート管接続口径M5X0.8
エジェクタユニットノズル径0.7mm
オーダーメイド仕様標準
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
搭載パイロット弁DC:1Wタイプ(ランプ付:1.05W)；ACタイプ
エジェクタユニットノズル径0.5mm
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
電磁弁定格電圧(V)エアオペレート
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
電磁弁定格電圧(V)AC100(50/60Hz)
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
CADデータあり
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
ランプ・サージ電圧保護回路ランプ・サージ電圧保護回路付
手動操作方式ノンロックプッシュ式
CE-対応品-
エジェクタ排気形式集合排気(マニホールドのみ)
供給弁・破壊弁の組合わせ供給弁:電磁弁N.O.(VJ324)；破壊弁:電磁弁N.C.(VJ314)
破壊流量調整ニードル/ブラケットA：ロックナットなし、ブラケットA付
搭載パイロット弁DC:1Wタイプ(ランプ付:1.05W)；ACタイプ
PV・Vポート管接続口径M5X0.8
エジェクタユニットノズル径0.7mm
オーダーメイド仕様標準
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
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