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モータレス仕様追加でさまざまなサーボモータの搭載が可能

バッテリレス アブソリュートエンコーダ付、電源復帰時停止位置から再始動が可能

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

重いワーク、大きなワークに対応 パッド径：Φ32～Φ340

ブラウン管、自動車ボディ等ワーク質量が重い場合や大きい場合に最適です パッド径/Φ40～Φ125

重いワーク、大きなワークに対応 パッド径：Φ32～Φ340

重いワーク、大きなワークに対応 パッド径：Φ32～Φ340

ブラウン管、自動車ボディ等ワーク質量が重い場合や大きい場合に最適です パッド径/Φ40～Φ125

・ろ過効率：99%以上除去 HEPO2エレメント：ろ過精度：2， 4， 6， 13μm(ろ過効率99%) メンブランエレメント：ろ過精度：0.2， 0.4μm(ろ過効率99.9%) ・ハウジング内の発塵を防止 接液部材質にSUS316とPTFEを使用し、また、クランプリング方式の採用により内部発塵がありません。

設定項目の見える化、簡単3ステップ設定、簡単画面切替

・ろ過効率：99%以上除去 HEPO2エレメント：ろ過精度：2， 4， 6， 13μm(ろ過効率99%) メンブランエレメント：ろ過精度：0.2， 0.4μm(ろ過効率99.9%) ・ハウジング内の発塵を防止 接液部材質にSUS316とPTFEを使用し、また、クランプリング方式の採用により内部発塵がありません。

・ろ過効率：99%以上除去 HEPO2エレメント：ろ過精度：2， 4， 6， 13μm(ろ過効率99%) メンブランエレメント：ろ過精度：0.2， 0.4μm(ろ過効率99.9%) ・ハウジング内の発塵を防止 接液部材質にSUS316とPTFEを使用し、また、クランプリング方式の採用により内部発塵がありません。

・豊富な機種により、ニーズに合わせた選択を可能にし、コンベアラインの 自動化・省力化を実現。 ・オートスイッチ付(RSDQシリーズ：RSDQ、RSDGシリーズ：RSDG)

フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない

・モータレス仕様追加でさまざまなサーボモータの搭載が可能 ・対応モータ 三菱電機(株)、(株)安川電機、山洋電気(株)、オムロン(株)、パナソニック(株) ファナック(株)、FASTECH Co.，Ltd.、Rockwell Automation， Inc. (Allen-Bradley)

・理論出力最大1.5倍。・既存CQ22シリーズと同一外形寸法。・多角形状ピストンにより1サイズ上の理論出力を実現。・圧縮空気ラインの低圧化に貢献 供給圧力0.17MPa減。 シリンダ供給圧力を下げても同一理論出力が可能

・モータレス仕様追加でさまざまなサーボモータの搭載が可能 ・対応モータ 三菱電機(株)、(株)安川電機、山洋電気(株)、オムロン(株)、パナソニック(株) ファナック(株)、FASTECH Co.，Ltd.、Rockwell Automation， Inc. (Allen-Bradley)

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

バッテリレス アブソリュートエンコーダ付、電源復帰時停止位置から再始動が可能

・理論出力最大1.5倍 ・既存CQ22シリーズと同一外形寸法 ・多角形状ピストンにより1サイズ上の理論出力を実現 ・圧縮空気ラインの低圧化に貢献 供給圧力0.17MPa減 シリンダ供給圧力を下げても同一理論出力が可能

メタルシール継手付(VCR/Swagelok)電磁弁 金属摺動部がないためダスト減少 逆圧性能向上

バッテリレス アブソリュートエンコーダ付、電源復帰時停止位置から再始動が可能

バッテリレス アブソリュートエンコーダ付、電源復帰時停止位置から再始動が可能

バッテリレス アブソリュートエンコーダ付、電源復帰時停止位置から再始動が可能

取付けは通し穴形と両端タップが選べます。 豊富な機種 ニーズに合せたきめ細かな選択が可能です。 形式：高さ固定形(RSQ)、高さ調整形(RSG) 作動方式：複動形、単動引込み形、複動バネ入り形 ロッド先端形状：丸棒形、面取り形、ローラ形、レバー形 取付け：通し穴形、両端タップ形 メンテナンスが容易な ショックアブソーバを内蔵レバー形に内蔵されたショックアブソーバは、 調整が不要ですから、メンテナンスが容易です。(32、 40、50) 小型オートスイッチの装着が可能 検出のためのスイッチのスペースがフリーとなり、機械装置の 小型化を実現します。 用途に応じて選べるレバー形 軽量パレットによる反発防止………ロック機構 ワークを部分的にパス………………キャンセル付

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません