・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
ねじの種類Rc
低消費電力
4WDC(標準)
1.8WDC(低消費電力形)
無給油で使用可能
真空や低圧での使用可能
外部パイロット式 真空:-101.2kPaまで
低圧:0~0.9MPa
NC、NO、外部パイロットの変
更ができます。
セレクタ弁、デバイダ弁とし
て使用可能(外部パイロット式)
ポート数3
低消費電力
4WDC(標準)
1.8WDC(低消費電力形)
無給油で使用可能
真空や低圧での使用可能
外部パイロット式 真空:-101.2kPaまで
低圧:0~0.6MPa
NC、NO、外部パイロットの変
更ができます。
セレクタ弁、デバイダ弁とし
て使用可能(外部パイロット式)
ポート数3
低消費電力
4WDC(標準)
1.8WDC(低消費電力形)
無給油で使用可能
真空や低圧での使用可能
外部パイロット式 真空:-101.2kPaまで
低圧:0~0.5MPa
NC、NO、外部パイロットの変
更ができます。
セレクタ弁、デバイダ弁とし
て使用可能(外部パイロット式)
ポート数3
定格電圧(V)AC220(50/60Hz)
ねじの種類Rc
使用流体空気
低消費電力
4WDC(標準)
1.8WDC(低消費電力形)
無給油で使用可能
真空や低圧での使用可能
外部パイロット式 真空:-101.2kPaまで
低圧:0~0.3MPa
NC、NO、外部パイロットの変
更ができます。
セレクタ弁、デバイダ弁とし
て使用可能(外部パイロット式)
ポート数3
定格電圧(V)AC200(50/60Hz)
使用流体空気
低消費電力
4WDC(標準)
1.8WDC(低消費電力形)
無給油で使用可能
真空や低圧での使用可能
外部パイロット式 真空:-101.2kPaまで
低圧:0~0.12MPa
NC、NO、外部パイロットの変
更ができます。
セレクタ弁、デバイダ弁とし
て使用可能(外部パイロット式)
ポート数3
使用流体空気
低消費電力
4WDC(標準)
1.8WDC(低消費電力形)
無給油で使用可能
真空や低圧での使用可能
外部パイロット式 真空:-101.2kPaまで
低圧:0~0.7MPa
NC、NO、外部パイロットの変
更ができます。
セレクタ弁、デバイダ弁とし
て使用可能(外部パイロット式)
ポート数3
定格電圧(V)DC12
使用流体空気
弁形式(-) 内部パイロット
搭載パイロット弁(-) 標準
低消費電力
4WDC(標準)
1.8WDC(低消費電力形)
無給油で使用可能
真空や低圧での使用可能
外部パイロット式 真空:-101.2kPaまで
低圧:0~0.11MPa
NC、NO、外部パイロットの変
更ができます。
セレクタ弁、デバイダ弁とし
て使用可能(外部パイロット式)
ポート数3
使用流体空気
低消費電力
4WDC(標準)
1.8WDC(低消費電力形)
無給油で使用可能
真空や低圧での使用可能
外部パイロット式 真空:-101.2kPaまで
低圧:0~0.2MPa
NC、NO、外部パイロットの変
更ができます。
セレクタ弁、デバイダ弁とし
て使用可能(外部パイロット式)
ポート数3
定格電圧(V)AC100(50/60Hz)
使用流体空気
低消費電力
4WDC(標準)
1.8WDC(低消費電力形)
無給油で使用可能
真空や低圧での使用可能
外部パイロット式 真空:-101.2kPaまで
低圧:0~0.8MPa
NC、NO、外部パイロットの変
更ができます。
セレクタ弁、デバイダ弁とし
て使用可能(外部パイロット式)
ポート数3
定格電圧(V)AC240(50/60Hz)
ねじの種類Rc
使用流体空気
低消費電力
4WDC(標準)
1.8WDC(低消費電力形)
無給油で使用可能
真空や低圧での使用可能
外部パイロット式 真空:-101.2kPaまで
低圧:0~0.4MPa
NC、NO、外部パイロットの変
更ができます。
セレクタ弁、デバイダ弁とし
て使用可能(外部パイロット式)
ポート数3
定格電圧(V)AC110(50/60Hz)
使用流体空気
シリーズSV3000
シリーズSV2000
シリーズSV1000
シリーズSV1000
シリーズSV1000
シリーズSV1000
シリーズSV2000
シリーズSV3000
シリーズSV2000
シリーズSV2000
シリーズSV1000
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