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エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

3段ディフューザ構造により吸込流量増加 デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意 空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合) 質量最大60%削減[ZL1：180g→ZL112(従来品)：450g] 3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比) 吸込流量250%向上 3種類の真空圧力検出部 工具不要!メンテナンス工数の削減が可能