長寿命:300万回(常温時)
発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm)50X336
軸数とシール形式1軸ベローズ
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
・ダストカバーの材質選択可。
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
・ダストカバーの材質選択可。
シリンダ内径(Φmm)32
開閉ストローク(両側)(mm)22
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
・ダストカバーの材質選択可。
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
・ダストカバーの材質選択可。
シリンダ内径(Φmm)10
開閉ストローク(両側)(mm)4
シリンダ内径(Φmm)6
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
・ダストカバーの材質選択可。
シリンダ内径(Φmm)6
開閉ストローク(両側)(mm)4
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
・ダストカバーの材質選択可。
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動式
ポートねじの種類(-) Rc
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動式
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動式
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動式
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(L) クランプ側ロック付
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
取付面位置(C) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
取付面位置(C) ポートと平行する側(上部から見て)
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(L) クランプ側ロック付
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(L) クランプ側ロック付
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
クランプ位置(mm)(L) LOWタイプ(40mm)
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
シム(S) シム3mm付
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(L) クランプ側ロック付
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(TN) NPT
クランプ位置(mm)(H) HIGHタイプ(70mm)
取付面位置(C) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
クランプアーム(A) ポート面同一(上部から見て時計回り)
1個
¥109,800
税込¥120,780
10日以内出荷
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(L) クランプ側ロック付
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(TF) G
クランプ位置(mm)(H) HIGHタイプ(70mm)
取付面位置(E) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
クランプアーム(A) ポート面同一(上部から見て時計回り)
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動式
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
取付面位置(E) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(L) クランプ側ロック付
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
取付面位置(E) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
クランプ位置(mm)(H) HIGHタイプ(70mm)
取付面位置(C) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(TF) G
クランプ位置(mm)(H) HIGHタイプ(70mm)
取付面位置(E) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(L) クランプ側ロック付
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(TF) G
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(L) クランプ側ロック付
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(TN) NPT
クランプ位置(mm)(L) LOWタイプ(60mm)
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
シム(S) シム3mm付
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動式
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(G) 標準磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
クランプ位置(mm)(L) LOWタイプ(60mm)
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
クランプアーム(D) ポート面から270°(上部から見て時計回り)
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動式
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(G) 標準磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
クランプ位置(mm)(L) LOWタイプ(60mm)
オートスイッチ追記号(-) 2ヶ付
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(D) ダイヤ型
クランプアーム(A) ポート面同一(上部から見て時計回り)
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動式
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(G) 標準磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
クランプ位置(mm)(L) LOWタイプ(60mm)
オートスイッチ種類D-P3DWASE
オートスイッチ追記号(-) 2ヶ付
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
クランプアーム(A) ポート面同一(上部から見て時計回り)
1個
¥76,980
税込¥84,678
10日以内出荷
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動式
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(G) 標準磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
クランプ位置(mm)(L) LOWタイプ(60mm)
オートスイッチ種類D-P3DWASE
オートスイッチ追記号(-) 2ヶ付
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
クランプアーム(A) ポート面同一(上部から見て時計回り)
1個
¥76,980
税込¥84,678
10日以内出荷
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動式
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(G) 標準磁石内蔵形
ポートねじの種類(-) Rc
クランプ位置(mm)(L) LOWタイプ(60mm)
オートスイッチ種類D-P3DWASC
オートスイッチ追記号(-) 2ヶ付
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(D) ダイヤ型
クランプアーム(B) ポート面から90°(上部から見て時計回り)
シム(S) シム3mm付
1個
¥83,980
税込¥92,378
10日以内出荷
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(TF) G
クランプ位置(mm)(H) HIGHタイプ(70mm)
取付面位置(C) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(-) クランプ側ロックなし
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(TF) G
取付面位置(A) ポートと平行する側(上部から見て)
ガイドピン形状(R) 丸型
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
ロック(L) クランプ側ロック付
磁石内蔵有無(P) 強力磁石内蔵形
ポートねじの種類(TF) G
取付面位置(C) ポートと平行する側(上部から見て)
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