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ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
チューブ内径(Φmm)6
開閉ストローク(両側)(mm)4
使用流体空気
給油無給油
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
ストローク(mm)5
作動方式複動
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプCF
操作ポート方向フランジ側
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
シリンダ内径(Φmm)6
ストローク(mm)10
作動方式複動
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプCF
操作ポート方向フランジ側
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
ストローク(mm)5
作動方式複動
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプCF
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
CADデータあり
・リニアガイドにシリンダを内蔵、小形エアスライドテーブル。
・リニアガイドのレール内部にシリンダを内蔵した構造。
・ボディ、ガイドブロックにマルテンサイト系ステンレス鋼を使用。
シリンダ内径(Φmm)8
作動方式複動
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
シリンダ内径(Φmm)4
作動方式複動
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプCF
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプCF
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプCF
操作ポート方向フランジ側
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
作動方式複動
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
シリンダ内径(Φmm)8
作動方式複動
CADデータあり
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
チューブ内径(Φmm)6
開閉ストローク(両側)(mm)4
使用流体空気
給油無給油
CADデータあり
・クサビ形カム駆動方式。
・すべりタイプのガイドにより高剛性。
・防塵、防滴、耐外力、耐環境タイプで多用途に使用可。
・環境に応じ、ダストカバー材質(クロロプレンゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム)
およびステンレス(SUS304)フィンガの選択可。
CADデータあり
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
開閉ストローク(両側)(mm)30
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプCF
操作ポート方向フランジ側
CADデータあり
・クサビ形カム駆動方式。
・すべりタイプのガイドにより高剛性。
・防塵、防滴、耐外力、耐環境タイプで多用途に使用可。
・環境に応じ、ダストカバー材質(クロロプレンゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム)
およびステンレス(SUS304)フィンガの選択可。
CADデータあり
シリンダ内径(Φmm)16
作動方式単動形(常時閉)
開閉ストローク(両側)(mm)6
CADデータあり
・全高低減：10%減(27mm：従来30mm)
・製品質量：22%削減(298g：従来380g)
・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)
チューブ内径(Φmm)6
ストローク(mm)30
作動方式複動形
使用圧力範囲(MPa)0.15～0.7
使用流体空気
給油不要(無給油)
CADデータあり
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
・ダストカバーの材質選択可。
シリンダ内径(Φmm)6
開閉ストローク(両側)(mm)4
CADデータあり
・全高低減：10%減(27mm：従来30mm)
・製品質量：22%削減(298g：従来380g)
・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)
チューブ内径(Φmm)6
ストローク(mm)50
作動方式複動形
使用圧力範囲(MPa)0.15～0.7
使用流体空気
給油不要(無給油)
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
シリンダ内径(Φmm)6
作動方式複動
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
シリンダ内径(Φmm)4
作動方式複動
CADデータあり
・リニアガイドにシリンダを内蔵、小形エアスライドテーブル。
・リニアガイドのレール内部にシリンダを内蔵した構造。
・ボディ、ガイドブロックにマルテンサイト系ステンレス鋼を使用。
シリンダ内径(Φmm)6
作動方式複動
CADデータあり
・クサビ形カム駆動方式。
・すべりタイプのガイドにより高剛性。
・防塵、防滴、耐外力、耐環境タイプで多用途に使用可。
・環境に応じ、ダストカバー材質(クロロプレンゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム)
およびステンレス(SUS304)フィンガの選択可。
CADデータあり
・全高低減：10%減(27mm：従来30mm)
・製品質量：22%削減(298g：従来380g)
・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)
チューブ内径(Φmm)6
ストローク(mm)40
作動方式複動形
使用圧力範囲(MPa)0.15～0.7
使用流体空気
給油不要(無給油)
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
作動方式複動
CADデータあり
チューブ内径(Φmm)4
作動方式複動
スイッチレール(-) 磁石、スイッチレール付
対称形(-) 標準形
CADデータあり
・全高低減：10%減(27mm：従来30mm)
・製品質量：22%削減(298g：従来380g)
・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)
チューブ内径(Φmm)8
ストローク(mm)10
作動方式複動形
使用ピストン速度(mm/s)50～200
使用圧力範囲(MPa)0.15～0.7
使用流体空気
給油不要(無給油)
CADデータあり
・リニアガイドにシリンダを内蔵、小形エアスライドテーブル。
作動方式複動
CADデータあり
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
作動方式複動
CADデータあり
・前面取付部とテーブルを一体化により前面、上面取付面の高精度、高剛性を実現。
・走り平行度：0.005mm
・高さ：10mm/幅：20mm/長さ：43mm(MXJ4)
作動方式複動
CADデータあり
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