・1台で流量を自動調整。・乾燥空気, N2, Ar, CO2。・カラー表示・2画面表示対応。 瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で確認。・IO-Linkに対応。・レンジアビリティ 100:1。・1台で幅広い流量の制御が可能
使用流体乾燥空気、N2、Ar、CO2
RoHS指令(10物質対応)対応
取扱説明書(2.09MB)
最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意
空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合)
質量最大60%削減[ZL1:180g→ZL112(従来品):450g]
3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比)
吸込流量250%向上
3種類の真空圧力検出部
工具不要!メンテナンス工数の削減が可能
ポート数2
ポート数2
使用流体空気
最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意
空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合)
質量最大60%削減[ZL1:180g→ZL112(従来品):450g]
3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比)
吸込流量250%向上
3種類の真空圧力検出部
工具不要!メンテナンス工数の削減が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(06) 0.6
排気方式(1) サイレンサ排気(個別排気)
ボディ形式(3) マニホールド用(区別なし)
ノズル径(Φmm)(06) 0.6
使用流体水
ポート数2
使用流体水
ポート数2
ポート数2
口径1/8
オリフィス径(Φmm)2
使用流体空気
材質(ボディ)(A) Al
ポート数2
使用流体中真空
ポート数2
口径1/2
ねじの種類Rc
オリフィス径(Φmm)15
使用流体水用
ポート数2
使用流体空気
ポート数2
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)0.3
排気方式(1) サイレンサ排気(個別排気)
ボディ形式(1) 単体(PV PD共通ポート)
ノズル径(Φmm)(03) 0.3
最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意
空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合)
質量最大60%削減[ZL1:180g→ZL112(従来品):450g]
3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比)
吸込流量250%向上
3種類の真空圧力検出部
工具不要!メンテナンス工数の削減が可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
ポート数2
使用流体空気
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(03) 0.3
排気方式(1) サイレンサ排気(個別排気)
ボディ形式(3) マニホールド用(区別なし)
ノズル径(Φmm)(03) 0.3
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(00) なし
排気方式(0) 真空ポンプシステム用(サイレンサなし)
ボディ形式(3) マニホールド用(区別なし)
ノズル径(Φmm)(00) なし
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(05) 0.5
排気方式(1) サイレンサ排気(個別排気)
ボディ形式(3) マニホールド用(区別なし)
ノズル径(Φmm)(05) 0.5
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(03) 0.3
排気方式(2) ポート排気(個別排気)
ボディ形式(3) マニホールド用(区別なし)
真空(V)ポート(C4) ストレートΦ4ワンタッチ管継手(ミリサイズ)
ノズル径(Φmm)(03) 0.3
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
ノズル口径(Φmm)(04) 0.4
排気方式(1) サイレンサ排気(個別排気)
ボディ形式(3) マニホールド用(区別なし)
ノズル径(Φmm)(04) 0.4
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
ノズル口径(Φmm)(06) 0.6
排気方式(2) ポート排気(個別排気)
ボディ形式(3) マニホールド用(区別なし)
ノズル径(Φmm)(06) 0.6
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(05) 0.5
排気方式(2) ポート排気(個別排気)
ボディ形式(3) マニホールド用(区別なし)
ノズル径(Φmm)(05) 0.5
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(04) 0.4
排気方式(2) ポート排気(個別排気)
ボディ形式(1) 単体(PV、PD共通ポート)
ノズル径(Φmm)(04) 0.4
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(04) 0.4
排気方式(2) ポート排気(個別排気)
ボディ形式(3) マニホールド用(区別なし)
ノズル径(Φmm)(04) 0.4
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(05) 0.5
排気方式(2) ポート排気(個別排気)
ボディ形式(1) 単体(PV、PD共通ポート)
ノズル径(Φmm)(05) 0.5
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)(03) 0.3
排気方式(2) ポート排気(個別排気)
ボディ形式(1) 単体(PV、PD共通ポート)
ノズル径(Φmm)(03) 0.3
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