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・チューブの曲げ、変形に強い チューブサポートにより、サイドロードに強い。 ・チューブサイズの変更が可能 レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。 レジューサ方式により継手の種類や在庫の削減が可能。 ・ナット締付けが容易 ナット締付けは、継手ボディの端面までねじ込むだけ。 位置合せのゲージ管理が不要。 台形ねじのため、ナットの斜め入れがない。

・摺動抵抗の小さいメタルシール構造により一般シリンダでは使用 できない駆動速度域・出力コントロールをカバー。

・丸形シリンダにバルブを取付けたシリンダ。 ・また一部の機種にはスピードコントローラを内蔵。 ・速度調整を容易にしたバルブ付シリンダ。

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

アクチュエータのストローク位置に応じた プロセスデータを出力。1個のスイッチで 最大3点の位置判別が可能。アクチュエータから離れた 場所で検出位置設定が可能。スナップショット機能により簡単にスイッチ出力設定が可能 設定工数の削減。位置ズレによる再設定が容易。稼働状況・機器状態を可視化し、通信により遠隔監視・遠隔操作が可能

■透明ケースガードを採用■2層構造でケース全周をカバーし、耐環境性向上

■透明ケースガードを採用■2層構造でケース全周をカバーし、耐環境性向上

・丸形シリンダにバルブを取付けたシリンダ。 ・また一部の機種にはスピードコントローラを内蔵。 ・速度調整を容易にしたバルブ付シリンダ。 ・オートスイッチ付

・油・水・異物などの不純物を除去して、下流のドライヤの機能向上や精密フィルタの エレメント寿命を延長し、機器のトラブルを防止します。

・エアロゾル状の油微粒子を分離除去し、0.01μm以上のカーボンやダストを 取り除きます。 ・高い清浄度の空気が要求される精密計測器やクリーンルーム用圧縮空気の プリフィルタとしてご使用ください。

・油・水・異物などの不純物を除去して、下流のドライヤの機能向上や精密フィルタの エレメント寿命を延長し、機器のトラブルを防止します。

・耐摩耗性が向上 ロッドカバーやクレビスの軸受部の耐摩耗性を向上させ、 シリンダの長寿命化を計りました。 ・高速駆動が可能 使用する駆動速度条件によってラバークッションとエアクッションを 選べますから、高速の駆動に対応できます。 ●ラバークッション……50～750mm/s(標準装備) ●エアクッション……50～1000mm/s(オプション) ・簡単な取付作業 取付け時に工具をカバーに直接かけて作業ができますから取付けが 簡単に行うことができます。 ・少ないピストンロッドのダレ ピストンロッドとロッドカバー軸受部の精度をあげて、クリアランスを小さくし、 ピストンロッドのダレを少なくしました。

最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意 空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合) 質量最大60%削減[ZL1：180g→ZL112(従来品)：450g] 3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比) 吸込流量250%向上 3種類の真空圧力検出部 工具不要!メンテナンス工数の削減が可能

・全長が薄形に設計され装置のコンパクト化が実現する省スペースシリンダ。 ・4面に小型オートスイッチ取付可能(Φ12～Φ25は2面) ・オートスイッチの飛びだしがありません。 ・軽量：5～13%低減(従来CQ2比較) ・2山クレビス用受金具、コンパクトフート形金具を新たに追加 ・取付ボルト同梱、ロッド先端金具付品番を設定(別手配する手間が省けます) ・オートスイッチ付(CDQ2シリーズ：CDQ2、CDQ2W、 CDQ2K、CDQ2KW、CDQP2、CDQ2□S、CDBQ2)

・中間停止や非常停止・落下防止に適したロック付シリンダ。 (両方向ロック) ※CL1は片方向ロック ・オートスイッチ付(CDL□シリーズ：CDLJ2、CDLM2、CDLG1、CDL1)