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CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
操作ポート方向フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
操作ポート方向フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏
CADデータあり
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
CADデータあり
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータなし
操作ポート方向フランジ側
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
CADデータあり
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
仕様【使用圧力】1×10-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
材質本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材)
接続口径【パイロットポート】Rc1/8
質量(kg)5.1
フランジ80
フランジタイプKF(NW)
表面処理外部：硬質アルマイト、内部：素地
使用流体不活性ガス系の真空
弁形式常時閉(加圧開・スプリングシール)
オートスイッチ個数1ケ付
インジケータなし
パイロット圧力(MPa[kgf/cm2])0.4～0.7
オートスイッチ種類D-A93L
パイロットポート方向フランジ側
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし
1個
￥169,800
税込￥186,780
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電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
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