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薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着固定に適応吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するため吸着時ワークの変形がありません 高い加工精度 大きな吸着力

・材質：New PFA ・4重シール構造 ・レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。

エアドライヤはコンプレッサから送られてくる湿った圧縮空気の水分を取り除き、 水分による空気圧機器の不具合を防止します。

薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着固定に適応吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するため吸着時ワークの変形がありません 高い加工精度 大きな吸着力

・豊富な機種で幅広い用途に対応できます。 ・パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形 ・パッド径/Φ2～Φ50

・チューブの曲げ、変形に強い チューブサポートにより、サイドロードに強い。 ・チューブサイズの変更が可能 レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。 レジューサ方式により継手の種類や在庫の削減が可能。 ・ナット締付けが容易 ナット締付けは、継手ボディの端面までねじ込むだけ。 位置合せのゲージ管理が不要。 台形ねじのため、ナットの斜め入れがない。

・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ。

・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ ・排気エア清浄度:ISO Class5(クラス100 Fed.Std.209D)相当 ・安心の2段エレメント構造 第1エレメント油飽和後、2次側に流出する油を第2エレメント捕集。 外部への再飛散を一定期間防止します。

・故障予知機能内蔵。 ・真空ユニットZXシリーズにモジュール可能。 ・サクションフィルタ付。

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付

・豊富な組合せバリエーション。 幅広い流体の制御が可能。 ボディ材質(ブラス/ BC6、SUS)、シール材質(NBR、PTFE、EPDM、FKM)ソレノイドコイル種別(B種、H種)など、 目的に応じて組合せを自由に選択できます。 ・分解、組付は短時間でOK。 ・ねじ、フランジ取付の選択が可能。

・豊富な組合せバリエーション。 幅広い流体の制御が可能。 ボディ材質(ブラス/ BC6、SUS)、シール材質(NBR、PTFE、EPDM、FKM)ソレノイドコイル種別(B種、H種)など、 目的に応じて組合せを自由に選択できます。 ・分解、組付は短時間でOK。 ・ねじ、フランジ取付の選択が可能。

・豊富な組合せバリエーション。 幅広い流体の制御が可能。 ボディ材質(ブラス/ BC6、SUS)、シール材質(NBR、PTFE、EPDM、FKM)ソレノイドコイル種別(B種、H種)など、 目的に応じて組合せを自由に選択できます。 ・分解、組付は短時間でOK。 ・ねじ、フランジ取付の選択が可能。