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入力仕様(1)電流入力
出力仕様(2)NPN2出力+外部入力
・電気信号で流量や圧力を無段階制御。
・プレスダイクッション、溶接機・低圧鋳造の加圧力制御エアシリンダの
多段速度制御やエアモータの回転制御。
1個
¥3,998
税込¥4,398
10日以内出荷
長寿命:300万回(常温時)
発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm)50X336
軸数とシール形式1軸ベローズ
ハンドル位置(B) 正面
配管位置(4) IN側: 上 OUT側: 下
排気機構リリーフタイプ
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)DC24
ノズル口径(Φmm)0.3
ボディ形式単体
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
定格電圧(V)(5) DC24
ノズル口径(Φmm)0.3
排気方式(2) ポート排気(個別排気)
ボディ形式(1) 単体(PV PD共通ポート)
ノズル径(Φmm)(03) 0.3
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上
小型・軽量:46g
真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能
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