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3段ディフューザ構造により吸込流量増加 デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能

3段ディフューザ構造により吸込流量増加 デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能

ワーク形状が大きく変形するフィルム包装ワークに対応 FDA(米国食品医薬品局)21CFR§177.2600溶出試験に適合したシリコーンゴム材料使用 青色を採用 漏れ低減 薄物ワーク(フィルム・ビニール等)吸着時のシワ低減

豊富な機種で幅広い用途に対応できます。 パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形 パッド径/Φ2～Φ50

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豊富な機種で幅広い用途に対応できます。 パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形 パッド径/Φ2～Φ50

・空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可) ・流量20%UP(サイズ1の場合) ・高さ寸法10%Down(サイズ1の場合) ・質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合) ・ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS ・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。 ・マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

豊富な機種で幅広い用途に対応できます。 パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形 パッド径/Φ2～Φ50

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

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12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

傾斜したワークの吸着に適した首振りタイプ パッド径/Φ10～Φ50

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

傾斜したワークの吸着に適した首振りタイプ パッド径/Φ10～Φ50

傾斜したワークの吸着に適した首振りタイプ パッド径/Φ10～Φ50

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

ブラウン管、自動車ボディ等ワーク質量が重い場合や大きい場合に最適です パッド径/Φ40～Φ125