リード線取出方法グロメット
種類無接点オートスイッチ
オートスイッチ取付方法直接
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)10
ねじの種類Rc
許容モーメント最大2倍以上向上
高剛性 新リニアガイド採用
各許容モーメント向上
高剛性 新リニアガイド、ピストン部変更により質量削減
質量19%削減(20-10ストローク)
3方向からの配管が可能
最高使用圧力(MPa)0.7
作動方式複動
使用流体空気
チューブ内径(Φmm)6
最低使用圧力(MPa)0.15
給油不要(無給油)
配管接続口径M5×0.8
・低GWP冷媒対応。 GWP:148※ ※ IPCC AR4基準。 EU冷媒規制:GWP 150以上。 米国冷媒規制:GWP 700以上。 カリフォルニア州冷媒規制:GWP 750以上。・環境対応冷媒R454C (空輸不可)。・DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。
用途ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ
質量(kg)165±5
種類完全フッ素化液 -20~40℃:Fluorinert(TM)FC-3283 GALDEN(R)HT135 20~90℃:Fluorinert(TM)FC-40 GALDEN(R)HT200
温度(℃)周囲:10~35
チャンネル数1チャンネル
冷却方式水冷冷凍式
使用冷媒R454C(HFO/HFC,GWP:148)
設定温度(℃)-20~90/温度安定性:±0.1
温度制御方式PID制御
高度(m)1000以下
周囲温度(℃)30~70
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(3.81MB)
冷却能力10kW
取扱説明書取扱説明書(4.82MB)
冷媒封入量(kg)1.5
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)10
ねじの種類Rc
DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に応じてインバータ制御
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(8.19MB)
取扱説明書取扱説明書(30.44MB)
・ノンフロン。・CO2冷媒を採用。・GWPを大幅に削減。・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可。 EU冷媒規制 :GWP150以上。 米国冷媒規制 :GWP700以上。 カリフォルニア州冷媒規制 :GWP750以上。 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能。・フロン回収、廃棄コスト不要。・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要
用途ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ 循環液温調装置
質量(kg)175±5
外形寸法(mm)380×870×950
適合規格SEMI、CE/UKCA、UL
電源電圧3相AC200/200~208±10%(50/60Hz)
冷却方式水冷冷凍式
使用冷媒R744(CO2、GWP:1)
温度制御方式PID制御
設定温度範囲-20~90℃/(温度安定性)±0.1
周囲温度(℃)10~35
冷却能力(kW)10
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.92MB)
取扱説明書取扱説明書(8.21MB)
運転電流(A)最大26
・許容モーメント最大2倍以上向上
・高剛性 新リニアガイド採用
各許容モーメント向上
・高剛性 新リニアガイド、ピストン部変更により質量削減
質量19%削減(20-10ストローク)
・3方向からの配管が可能
最高使用圧力(MPa)0.7
作動方式複動
使用流体空気
チューブ内径(Φmm)10
最低使用圧力(MPa)0.06
給油不要(無給油)
配管接続口径M5×0.8
カム機構の採用により軽量・コンパクト。
・ロングストローク。
・寸法にバラツキのある大形ワーク把持に対応。
・ダブルピストンにより把持力大。
・塵埃対策機構を内蔵。
シリンダ内径(Φmm)10
作動方式複動形
・テーブルとロータリアクチュエータを一体化。
・角度調整機構付。
・負荷取付、本体取付時の芯出しが容易。
・ショックアブソーバ内蔵タイプと外部アブソーバ付の選択可能。
角度調整範囲0~190°
シリンダ内径(Φmm)10
サイズ3
クッションラバークッション
使用圧力範囲(MPa)0.1~0.7
使用流体空気
・リニアガイドにシリンダを内蔵、小形エアスライドテーブル。
・リニアガイドのレール内部にシリンダを内蔵した構造。
・ボディ、ガイドブロックにマルテンサイト系ステンレス鋼を使用。
作動方式複動
・テーブルとロータリアクチュエータを一体化。
・角度調整機構付。
・負荷取付、本体取付時の芯出しが容易。
・ショックアブソーバ内蔵タイプと外部アブソーバ付の選択可能。
角度調整範囲0~190°
シリンダ内径(Φmm)15
サイズ10
クッションラバークッション
使用圧力範囲(MPa)0.2~1
使用流体空気
角度調整範囲0~190°
チューブ内径(Φmm)8
シリンダストローク(mm)8
作動方式複動
ストローク(mm)20
作動方式複動
・ワークテーブル+コンパクトに一体化。
・精密組立用に最適なエアスライドテーブル。
・高剛性/高精度。
・クロスローラガイドの採用によりガタのない、なめらかな動きを実現。
・小形/軽量。
・デュアルロッドの採用により従来のシリンダの2倍の出力が得られます。
作動方式複動
・ワークテーブル+コンパクトに一体化。
・精密組立用に最適なエアスライドテーブル。
・高剛性/高精度。
・クロスローラガイドの採用によりガタのない、なめらかな動きを実現。
・小形/軽量。
・デュアルロッドの採用により従来のシリンダの2倍の出力が得られます。
ストローク(mm)20
・ワークテーブル+コンパクトに一体化。
・精密組立用に最適なエアスライドテーブル。
・高剛性/高精度。
・クロスローラガイドの採用によりガタのない、なめらかな動きを実現。
・小形/軽量。
・デュアルロッドの採用により従来のシリンダの2倍の出力が得られます。
作動方式複動
・全高低減:10%減(27mm:従来30mm)
・製品質量:22%削減(298g:従来380g)
・許容運動エネルギー:64%向上(0.09J:従来0.055J)
作動方式複動
・全高低減:10%減(27mm:従来30mm)
・製品質量:22%削減(298g:従来380g)
・許容運動エネルギー:64%向上(0.09J:従来0.055J)
作動方式複動
・リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・防塵、防滴構造。
・ダストカバーの材質選択可。
シリンダ内径(Φmm)6
開閉ストローク(両側)(mm)4
・薄形・コンパクト・高精度のガイド機能をもつピック&プレース用。
・ガイド機能をもつピック&プレース等に適した2本ロッドシリンダ。
・全シリーズボールブッシュ軸受、すべり軸受を標準化 ボールブッシュ軸受、すべり軸受の外形寸法は同一です。
・推力2倍 不回転精度±0.1°
・ストロークアジャスト 0~-5mm。
・ワーク取付は3面から可能。
チューブ内径(Φmm)6
シリンダストローク(mm)20
作動方式複動片ロッド
・ロングストローク。
・寸法にバラツキのある大形ワーク把持に対応。
・ダブルピストンにより把持力大。
・塵埃対策機構を内蔵。
シリンダ内径(Φmm)16
作動方式複動形
・テーブルとロータリアクチュエータを一体化。
・角度調整機構付。
・負荷取付、本体取付時の芯出しが容易。
・ショックアブソーバ内蔵タイプと外部アブソーバ付の選択可能。
角度調整範囲0~190°
シリンダ内径(Φmm)15
サイズ10
クッションショックアブソーバ
使用圧力範囲(MPa)0.2~0.6
使用流体空気
・テーブルとロータリアクチュエータを一体化。
・角度調整機構付。
・負荷取付、本体取付時の芯出しが容易。
・ショックアブソーバ内蔵タイプと外部アブソーバ付の選択可能。
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