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測定する気体は、湿気や、埃、油、霧といった大きな粒子を含まないこと。MEMS質量流量センサ ‐ 小型。MEMS技術により、質量流量の精密検出ができるインテリジェントな超小型センサです。最大3 LPMまでの一方向流による質量流量の精密検出 フルスケール、むらのない安定した出力 超小型サイズ: 36.6 (D) x 8 (W) x 16.8 (H) mm 低消費電力 タケノコ継ぎ

Omron Accurax G5 サーボドライブは、2 kHz の高応答周波数と 20 ビットエンコーダによる高解像度を特長としています。全閉ループ用の外部エンコーダ入力を使用したリアルタイム自動調整機能を備えています。容量： 600 W 定格トルク： 2.86 Nm