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デジタルマスフローコントローラ：MQVシリーズ
azbil(旧:山武)￥379,800～税込￥417,780～1個21日以内出荷から111日以内出荷●熱式マスフロー(μF/マイクロフロー)センサ採用：質量流量を直接計測するため、温度・圧力変動の影響を受けにくい安定制御。 ●高速応答・広レンジ：約300msの高速制御と100:1の広い制御レンジで、設定変更や外乱に強い。 ●低差圧動作：ストレート流路構造により圧力損失が小さく、低圧供給ガスでも制御可能。 ●使いやすい電源・設定：DC24V電源(ACアダプタ対応)で専用電源不要。PCローダ通信で設定・監視が容易。 ●幅広い流量レンジ/ガス対応：微小流量(mL/min)から大流量(L/min)までラインアップ。用途●工業炉・熱処理炉の雰囲気ガス制御：浸炭炉、焼鈍炉などで炉内ガス比率を精密制御。 ●燃焼・加工用途(ろう付け/ガラス加工/切断)：燃料ガスと助燃ガスの比率制御で品質安定。 ●真空装置・研究/試験装置：スパッタ、ガス分析、評価装置でのガス流量制御。 ●半導体・電子分野(パージ・雰囲気制御)：ロードポート等でのN2パージや雰囲気管理
サファイア隔膜真空計：SPGシリーズ
azbil(旧:山武)￥799,800税込￥879,7801個42日以内出荷から102日以内出荷サファイア受圧部を採用した国産の隔膜真空計。 ゼロシフトしにくい中央受圧構造を採用し、デポ付着の影響を低減。 真空⇔大気サイクルによるドリフトの影響を受けにくい高強度サファイアダイアフラム。 受圧部温度・基板温度を監視し、温度補正による高安定計測を実現。 ワンプッシュ(3秒長押し)で簡単ゼロ調整可能。 ゼロ調整幅±20%FSで交換・校正周期の延長に貢献。 状態表示LED搭載でウォームアップ・異常・イベント状態を可視化。 3点のイベント出力を標準搭載しインターロック用途に対応。 PCローダ接続により圧力・温度・電源電圧・異常情報などを可視化可能。 半導体製造装置、真空炉、真空ポンプ評価装置、凍結乾燥装置向けに最適用途製品名：サファイア隔膜真空計。 形式：SPG5□(標準モデル)、SPG6□(高温環境対応モデル)、SPG7□(凍結乾燥用モデル)。 測定方式：静電容量式隔膜真空計(Capacitance Diaphragm Gauge)。 測定レンジ：0-20Pa ～ 0-133.32kPa abs。 精度：±0.25% Reading(機種・条件による)。 ゼロ温度特性：0.004～0.016%FS/℃。 自己加熱温度：なし、45℃、100℃、125℃、150℃、160℃、180℃、200℃。 受圧部材質：サファイア、DSALOY(INCONEL同等品)、SUS316Lサファイア隔膜真空計：SPGシリーズ
azbil(旧:山武)￥799,800税込￥879,7801個42日以内出荷から102日以内出荷サファイア受圧部を採用した国産の隔膜真空計。 ゼロシフトしにくい中央受圧構造を採用し、デポ付着の影響を低減。 真空⇔大気サイクルによるドリフトの影響を受けにくい高強度サファイアダイアフラム。 受圧部温度・基板温度を監視し、温度補正による高安定計測を実現。 ワンプッシュ(3秒長押し)で簡単ゼロ調整可能。 ゼロ調整幅±20%FSで交換・校正周期の延長に貢献。 状態表示LED搭載でウォームアップ・異常・イベント状態を可視化。 3点のイベント出力を標準搭載しインターロック用途に対応。 PCローダ接続により圧力・温度・電源電圧・異常情報などを可視化可能。 半導体製造装置、真空炉、真空ポンプ評価装置、凍結乾燥装置向けに最適用途製品名：サファイア隔膜真空計。 形式：SPG5□(標準モデル)、SPG6□(高温環境対応モデル)、SPG7□(凍結乾燥用モデル)。 測定方式：静電容量式隔膜真空計(Capacitance Diaphragm Gauge)。 測定レンジ：0-20Pa ～ 0-133.32kPa abs。 精度：±0.25% Reading(機種・条件による)。 ゼロ温度特性：0.004～0.016%FS/℃。 自己加熱温度：なし、45℃、100℃、125℃、150℃、160℃、180℃、200℃。 受圧部材質：サファイア、DSALOY(INCONEL同等品)、SUS316L
サファイア隔膜真空計：SPGシリーズ
azbil(旧:山武)1個欠品中・単結晶サファイア隔膜を採用：耐食性・耐熱性に優れ、高温環境(約125～200℃)でも再現性の高い計測が可能。・高精度・高速応答：精度はReading基準で約0.25～0.5%、応答も高速でプロセス変動を追従。 。・堅牢構造・多彩な形状用途・半導体製造装置の真空圧力計測：CVD、エッチング、スパッタリングなどのプロセスチャンバー圧力監視。
