気圧に影響されない堅牢で使い易い絶対真空計です。
寸法(mm)Φ115
質量(kg)1
最高使用圧力2bar(2×105Pa)(絶対圧)
1 ライトリングによる圧力表示
新開発のライトリングにより、 セントラルインターフェイスから離れまた場所でシステムの圧力を確認可能です。
2 コンパクトサイズ
APG100シリーズと比べ、 性能を損なうことなく25% 小型化しています。
3 長くなったフィラメント
独自設計によりフィラメント長の最大化に成功し、 感度の強化によって測定範囲の上限と下限の反応性も
向上しました。
4 内蔵フィルター
内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去するので、設置すればほぼ保守の必要はありません。
5 幅広い電源に対応
15~48Vの幅広い入力電源は業界最大で、電源を気にすることなくゲージを使用することができます。
6 取り付けが簡単
お客様が一番したくないのがソフトウェアの変更や時間のかかる適格性確認です。 そのため、 Edwardsでは最も一般的な出力に対応したモデルを取り揃えました。これにより、 アップグレードがさらに簡単になっています。
7 デジタル/アナログ
Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じです。 データ収集/制御の必要性が増した場合、あとから簡単にアップグレードすることができます。
8 セットポイントリレー
Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備しているので、幅広い連鎖アクションを起動することができます。
用途分析機器
真空で実現できる限界に挑戦しつつ、プロセスを完全に最適化し再現可能にすることが、常に最高を目指す上で重要です。
半導体
使用環境が過酷なことで知られていますが、このような環境でもファブが24時間無休で稼働することが極めて重要です。 そのため、すべての部品を厳しく監視することによって稼働時間の大幅な向上を実現します。
医薬
医薬および医薬関連のすべてのプロセスは、プロセスステップごとに異なった真空度を用いています。 プロセスステップで正確かつ信頼性の高い測定を行うことが一貫した出力を得るのに重要です。
仕様セットポイント:0、1、2 (モデルによる)、過圧限界:10bar、デッドボリューム:3.3cm3、保守チューブと電子機器の交換
材質真空接触部:タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、 ステンレス鋼302S26
寸法(mm)63×37×37 (対辺寸法)
質量(g)130
フランジNW16/25、DV16CF、 1/8" NPT、 4VCR、 8VCR、 ベアチューブ
規格CE、UKCA
出力シリアル:RS232またはRS485
ケーブル長(m)100
温度(℃)最高ベークアウト(電子機器非接触):150
寸法A(mm)37
精度大気圧~100hPa ±50%100hPa~1×103hPa ±15%1×103hPa~5×10-4hPa ±50%
寸法B(mm)52
寸法C(mm)11
範囲1.8~9.2V
アナログ出力0~10
再現性(%)100~1×103hPaの間で読み値の2
保護等級40
インターフェースワンプッシュ式
測定範囲(hPa)大気圧~5×104(大気圧~3.75×10-4torr)
保護機能内蔵フィルター
コネクタ電気:RJ45/9ピンD-sub
保管温度(℃)-30~70
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料APG200データシート(0.82MB)
インジケータステータス:360°高輝度LEDリング
動作温度範囲(℃)5~60°
供給電圧(V)直流15~48
相対湿度(%RH)31℃まで80%、40℃以上では50まで線形に減少
対応ソフトウェアLabviewドライバー
接点定格直流48V (最大) 500mA
コントローラ互換性:TIC/ADC/TAG
1個
¥89,980
税込¥98,978
92日以内出荷
関連キーワード