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液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。接液部オールテフロンです。
用途接液部オールテフロン、オーリングレスで、半導体プロセスの液体流量監視に最適です。
適合流体超純水・薬液等液体
規格IP64(JIS C0920、防まつ構造)
電源2～24VDC
精度±3%F.S.(25℃)
使用温度(℃)液体：0～90(凍結、沸騰なきこと)
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
周囲湿度(%RH)5～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)0～50
材質(接液部)New PFA、Super PFA
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