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本器は高精度フロート式流量計と、精密ニードルバルブを組合せ、微小流量の計測制御に最適の製品です
用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
接続口径(Rc)1/4
精度±2%F.S.
寸法E(mm)29
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10：1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
エコ商品
金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。
優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。
RoHS指令対応品です。
用途機器組み込み用に。
ガスパージ計測用に。
接続部のサイズRc1/8
質量(g)250
目盛10:1(有効目盛)
精度FS±10%
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.5
材質/仕上本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)
RoHS指令(10物質対応)対応
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
材質本体ブロック：真鍮、テーパー管：硬質ガラス、パッキン：NBR、フロート：硬質ガラス SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10：1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ【ニードルバルブ】下部バルブ(標準)：供給圧力/0.1MPa・出口圧力/0MPa(標準)
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。精密流量制御のできるニードルバルブ付で微小流量の制御に適しています。
仕様●ニードルバルブ：下部バルブ(標準) 供給圧力/0.1MPa 出口圧力/0MPa(標準)●有効目盛：10：1
材質ブロック：SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
使用温度範囲(℃)最高温度60
精度±2%FS(計測ポイント)
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。精密流量制御のできるニードルバルブ付で微小流量の制御に適しています。
仕様●ニードルバルブ：下部バルブ(標準) 供給圧力/0.1MPa 出口圧力/0MPa(標準)●有効目盛：10：1
材質ブロック：SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
使用温度範囲(℃)最高温度60
精度±2%FS(計測ポイント)
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
徹底した合理化に基づき設計された流量計で安価でありながら精度、再現性に優れております。
用途環境計測機器に
一般分析機器に
パージ装置用に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
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