仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)材質接ガス部材質:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプション NBR or CR)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS再現性(%)±0.5F.S耐圧(MPa)1(G)接続電気:D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)使用電源+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA周囲湿度(%RH)許容:10~90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5~45入圧(kPa)最大500(G)保存温度範囲(℃)許容:-10~60耐圧(kPa)980(G)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)校正温度(℃)20