空気(AIR)/窒素ガス(N2)用の小型軽量樹脂製流量計です。
適合流体空気(AIR)/窒素ガス(N2)
精度FS±6%
接続口径RC1/4
材質本体/ABS、テーパ管/アクリル、フロート/硬質ガラス、SUS316、継手/SUS303、シール材/フッ素ゴム
耐圧(MPa)0.7
最高使用温度(℃)65
独自の精密成型によるガラス管と超精密球のフロートにより、高い精度を保証します。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
接続部のサイズRc1/4
質量(g)377
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。
優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。
RoHS指令対応品です。
用途機器組み込み用に。
ガスパージ計測用に。
接続部のサイズRc1/8
質量(g)250
目盛10:1(有効目盛)
精度FS±10%
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.5
材質/仕上本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)
RoHS指令(10物質対応)対応
徹底した合理化に基づき設計された流量計で安価でありながら精度、再現性に優れております。
用途環境計測機器に
一般分析機器に
パージ装置用に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
本器は高精度フロート式流量計と、精密ニードルバルブを組合せ、微小流量の計測制御に最適の製品です
用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
接続口径(Rc)1/4
精度±2%F.S.
寸法E(mm)29
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
生産合理化を計り、ローコスト化、短納期化を実現しました。
安定性も高精度タイプと比較しても何ら遜色のない性能を有しています。
用途・ガスパージ用に
・機器組込み用に
・各種分析計に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
独自の精密成型によるガラス管と超精密球のフロートにより、高い精度を保証します。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
接続部のサイズRc1/4
質量(g)379
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
流体にはAir/N2またはWATERを選択いただけます。
接続口径Rc1/4(標準)、その他特殊接続可能(オプション)
全長(mm)104
精度±6%FS
耐圧(MPa)0.7
最高使用温度(℃)65
材質(接液部)ABS、アクリル、SUS303、FKM、POM、(硬質ガラス、SUS316、SUS304)
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
小型・軽量、シンプルで見やすい大流量用樹脂製流量計です。
バルブなし・ありの2タイプを用意しています。
装置搭載の水・エアー・N2監視用、工場エアー・水の監視用として最適です。
材質本体/アクリル、金属部分(接流体部)/SUS303・304・316、オリフィス/PA6/66、GF33樹脂、フロート/SUS316、シール材/FKM
最高温度(℃)55(使用)
精度±5%FS
耐圧(MPa)1(G)
接続Rc3/8
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
材質本体ブロック:真鍮、テーパー管:硬質ガラス、パッキン:NBR、フロート:硬質ガラス SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ【ニードルバルブ】下部バルブ(標準):供給圧力/0.1MPa・出口圧力/0MPa(標準)
定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
耐圧(kPa)980(G)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)
同クラスでのコストパフォーマンスに優れた低価格です。
用途サンプリング装置に。
プラントラインに。
測定流体空気
質量(kg)2.55
接続部のサイズRc3/4
目盛10:1(有効目盛)
精度±5%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.7
圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。
小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。
接続口径Rc1/8(標準) Rc1/4(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±5%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ無し
非回転構造ニードルバルブを採用により超精密な流体制御が可能です。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
全長(mm)150
接続部のサイズRc1/4
質量(g)398
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
非回転構造ニードルバルブを採用により超精密な流体制御が可能です。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
接続部のサイズRc1/4
質量(g)403
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
同クラスでのコストパフォーマンスに優れた低価格です。
用途サンプリング装置に。
プラントラインに。
測定流体空気
質量(kg)2.65
接続部のサイズRc3/4
目盛10:1(有効目盛)
精度±5%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.7
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローコントローラ(MC)
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。
小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。
接続口径Rc1/8(標準) Rc1/4(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±5%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ有り
供給圧力(MPa)0.1(標準)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体CO2
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
関連資料カタログ(0.77MB)
動作差圧(kPa)50~300
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手RC1/4
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
フルスケール流量500SCCM
流量制御範囲2~100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、FKM
質量(g)約1200
種類メータ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
関連資料カタログ(0.77MB)
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2~100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体CO2
関連資料カタログ(0.77MB)
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体窒素ガス(N2)
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5~45
最大圧力(kPa)入口:500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体CO2
関連資料カタログ(0.77MB)
水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体水素ガス(H2)
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5~45
最大圧力(kPa)入口:500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体酸素ガス(O2)
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5~45
最大圧力(kPa)入口:500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体炭酸ガス(CO2)
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5~45
最大圧力(kPa)入口:500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
関連キーワード
1
2
次へ