冷却水洗浄水をはじめとする液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。ボディ材質にはPPS樹脂を使用しており、信頼性・耐久性にも優れています。
適合流体冷却水、洗浄水など
水(H2O)用の小型軽量樹脂製流量計です。
最高使用温度(℃)65
耐圧(MPa)0.7
材質本体/ABS、テーパ管/アクリル、フロート/硬質ガラス、SUS316、継手/SUS304、シール材/フッ素ゴム
接続口径RC1/4
精度FS±6%
適合流体水(H2O)
液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。接液部オールテフロンです。
用途接液部オールテフロン、オーリングレスで、半導体プロセスの液体流量監視に最適です。
適合流体超純水・薬液等液体
規格IP64(JIS C0920、防まつ構造)
電源2~24VDC
精度±3%F.S.(25℃)
使用温度(℃)液体:0~90(凍結、沸騰なきこと)
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
周囲湿度(%RH)5~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)0~50
材質(接液部)New PFA、Super PFA
金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。
優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。
RoHS指令対応品です。
用途機器組み込み用に。
ガスパージ計測用に。
接続部のサイズRc1/8
質量(g)250
目盛10:1(有効目盛)
精度FS±10%
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.5
材質/仕上本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)
RoHS指令(10物質対応)対応
流体にはAir/N2またはWATERを選択いただけます。
接続口径Rc1/4(標準)、その他特殊接続可能(オプション)
全長(mm)104
精度±6%FS
耐圧(MPa)0.7
最高使用温度(℃)65
材質(接液部)ABS、アクリル、SUS303、FKM、POM、(硬質ガラス、SUS316、SUS304)
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
微少量の液体流量測定が可能であるため、冷却水・洗浄水などの流量監視に最適です。 設置にスペースをとらないシンプル設計です。 FM01シリーズはボディ材質にPPS樹脂を使用しており、軽量かつ・耐久性に優れています。 FM31シリーズはボディ材質にPFAを使用しており、耐薬性に優れています。
測定流体冷却水、洗浄水等
出力4~20mA表示器付
電源電圧12~24VDC
測定精度±3%F.S.以内
再現性±0.5%F.S.以内
耐圧(MPa)1
動作環境0~50℃、5~90%RH(結露なきこと)
流体温度(℃)0~70
防塵防水性能IP64(JIS C0920、防沫構造)
材質(接液部)PPS/ガラス30%混入
小型・軽量、シンプルで見やすい大流量用樹脂製流量計です。
バルブなし・ありの2タイプを用意しています。
装置搭載の水・エアー・N2監視用、工場エアー・水の監視用として最適です。
材質本体/アクリル、金属部分(接流体部)/SUS303・304・316、オリフィス/PA6/66、GF33樹脂、フロート/SUS316、シール材/FKM
最高温度(℃)55(使用)
精度±5%FS
耐圧(MPa)1(G)
接続Rc3/8
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
関連資料カタログ(0.77MB)
動作差圧(kPa)50~300
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手RC1/4
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
フルスケール流量500SCCM
流量制御範囲2~100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、FKM
質量(g)約1200
種類メータ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
関連資料カタログ(0.77MB)
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2~100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
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表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
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表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
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表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
関連資料カタログ(0.77MB)
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2~100%F.S.
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