空気(AIR)/窒素ガス(N2)用の小型軽量樹脂製流量計です。
適合流体空気(AIR)/窒素ガス(N2)
精度FS±6%
接続口径RC1/4
材質本体/ABS、テーパ管/アクリル、フロート/硬質ガラス、SUS316、継手/SUS303、シール材/フッ素ゴム
耐圧(MPa)0.7
最高使用温度(℃)65
金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。
優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。
RoHS指令対応品です。
用途機器組み込み用に。
ガスパージ計測用に。
接続部のサイズRc1/8
質量(g)250
目盛10:1(有効目盛)
精度FS±10%
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.5
材質/仕上本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)
RoHS指令(10物質対応)対応
徹底した合理化に基づき設計された流量計で安価でありながら精度、再現性に優れております。
用途環境計測機器に
一般分析機器に
パージ装置用に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
本器は高精度フロート式流量計と、精密ニードルバルブを組合せ、微小流量の計測制御に最適の製品です
用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
接続口径(Rc)1/4
精度±2%F.S.
寸法E(mm)29
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
独自の精密成型によるガラス管と超精密球のフロートにより、高い精度を保証します。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
接続部のサイズRc1/4
質量(g)377
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
生産合理化を計り、ローコスト化、短納期化を実現しました。
安定性も高精度タイプと比較しても何ら遜色のない性能を有しています。
用途・ガスパージ用に
・機器組込み用に
・各種分析計に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体窒素ガス(N2)
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5~45
最大圧力(kPa)入口:500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
窒素ガス(N2)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体窒素ガス(N2)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
高精度な計測が可能。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能
コンパクト設計。優れた再現性・安定性
コンパクト設計。優れた再現性・安定性
高精度な計測が可能。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能
自社で正確な混合比率の混合ガスを生産できます。
8インチのタッチパネルの採用により、混合ガスの濃度、流量施一定が簡略化されました。
データロギング、ステップ制御などの付加機能も搭載しています。
用途分析機器へのガス供給、食品包装、熱処理、はんだ付、溶接、酸素濃度制御、腐食性試験等に、使用できます。
周囲温度(℃)5-50℃(精度保証15-35℃)
流量精度±1% (F.S.)
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