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熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ 安立計器
安立計器熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ
AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です
用途シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等 使用温度範囲(℃)0～500 コード長さ(m)1 許容差±5.0℃(100～200℃における) 熱電対Kタイプ 寸法(inch)(ウェーハ)5 プラグ形状ミニプラグ 点数5(センサー)
1個
￥259,800～ 税込￥285,780～
21日以内出荷から27日以内出荷
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