熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ
AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です
- 用途
- シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等
- 使用温度範囲(℃)
- 0～500
- コード長さ(m)
- 1
- 許容差
- ±5.0℃(100～200℃における)
- 熱電対
- Kタイプ
- 寸法(inch)
- (ウェーハ)5
- プラグ形状
- ミニプラグ
- 点数
- 5(センサー)
- 内容量
- 1個
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