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マスフローメータCMS□□□□は、検出部にアズビル独自開発の熱式流速センサである「μF(マイクロフロー)センサ」を使用した、質量流量計です。マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、広い計測範囲を実現しました。使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量計です。

マスフローコントローラMQV□□□□は、検出部にアズビル独自開発の熱式流速センサである「μF(マイクロフロー)センサ」を使用し、比例ソレノイドバルブと高度なアクチュエータ技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。高速ワイドレンジ流量制御ニーズを先取りした一般産業市場向け次世代気体流量コントローラです。