設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
付属品ハウジング、端子
質量(kg)0.14
使用温度(℃)【供給ガス】5~60
繰返し精度(mm)±1
使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス
チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4
材質(ボディ)PPS
周囲温度(℃)5~60
チューブ長さ(m)5以内
流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)
材質(ダイアフラム)FKM,FFKM
応差(mm)2
応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
付属品ハウジング、端子
使用温度(℃)【供給ガス】5~60
繰返し精度(mm)±1
使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス
チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4
材質(ボディ)PPS
周囲温度(℃)5~60
チューブ長さ(m)5以内
流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)
材質(ダイアフラム)FKM,FFKM
応差(mm)2
応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
仕様【KML60-4】(スイッチング水位)10~1000mm/ユーザー任意接点4点
電源電圧【KML60-4】DC12~24V ±10% 電圧リップル率 5%以下
チューブ長さ(m)5以下
スイッチ出力【KML60-4】NPNオープンコレクタ4点(DC28V 80mA 以下)
ポート数2
使用流体水、純水、薬液(接液部の材質を腐食させない流体)
欧州規格に対応したメタルフリーの小形薬液用3ポート電磁弁です。接液部材質は、ボディ材質がPEEK(樹脂材)、シール材質がFKM(ゴム材)を採用し、高耐食なメタルフリー構造です。1000万回の高寿命です。(メーカー試験条件による)。内部容積が19μlで、電磁弁内部の洗浄が容易です。試薬などの無駄も削減できます。使用圧力範囲を-0.08~0.2MPaに拡大しました。(従来品:-0.05~0.1MPa)。省エネ対応として、省電力基板を標準搭載し、装置の消費電力削減に貢献します。10mm巾の薄形設計で、超小形、省スペースです。バルブピッチ11mmで設置可能です。CEマーキングに対応しています。
用途微量の薬液制御に
分析装置の分注工程に
ポート数3
材質(シール)FKM
使用圧力(MPa)-0.08~0.2
作動方式ユニバーサル形
オリフィス径(Φmm)1
使用流体水、純水、薬液(接液部の材質を腐食させない流体)
材質(ボディ)PEEK
耐熱クラスクラス130(B)
耐圧力(MPa)(水圧にて)0.4
周囲温度および使用流体温度(℃)5~50
取付姿勢自在
雰囲気爆発性・腐食性雰囲気でないこと
弁構造ダイアフラム式直動(ロッカータイプ)
弁座漏れ(cm3/min)(水圧にて)0
RoHS指令(10物質対応)対応
流量特性(CV値)0.03
内部ボリューム(μL)19
欧州規格に対応したメタルフリーの小形薬液用2ポート電磁弁です。接液部材質は、ボディ材質がPEEK(樹脂材)、シール材質がFKM(ゴム材)を採用し、高耐食なメタルフリー構造です。1000万回の高寿命です。(メーカー試験条件による)。内部容積が19μlで、電磁弁内部の洗浄が容易です。試薬などの無駄も削減できます。使用圧力範囲を-0.08~0.2MPaに拡大しました。(従来品:-0.05~0.1MPa)。省エネ対応として、省電力基板を標準搭載し、装置の消費電力削減に貢献します。10mm巾の薄形設計で、超小形、省スペースです。バルブピッチ11mmで設置可能です。CEマーキングに対応しています。
用途微量の薬液制御に
分析装置の分注工程に
ポート数2
材質(シール)FKM
使用圧力(MPa)-0.08~0.2
オリフィス径(Φmm)1
使用流体水、純水、薬液(接液部の材質を腐食させない流体)
材質(ボディ)PEEK
耐熱クラスクラス130(B)
耐圧力(MPa)(水圧にて)0.4
周囲温度および使用流体温度(℃)5~50
取付姿勢自在
雰囲気爆発性・腐食性雰囲気でないこと
弁構造ダイアフラム式直動(ロッカータイプ)
弁座漏れ(cm3/min)(水圧にて)0
RoHS指令(10物質対応)対応
流量特性(CV値)0.03
内部ボリューム(μL)19
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