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設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適 付属品ハウジング、端子 質量(kg)0.14 使用温度(℃)【供給ガス】5~60 繰返し精度(mm)±1 使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4 材質(ボディ)PPS 周囲温度(℃)5~60 チューブ長さ(m)5以内 流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時) 材質(ダイアフラム)FKM,FFKM 応差(mm)2 応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
1台
34,650 税込38,115
当日出荷から7日以内出荷
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設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適 付属品ハウジング、端子 使用温度(℃)【供給ガス】5~60 繰返し精度(mm)±1 使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4 材質(ボディ)PPS 周囲温度(℃)5~60 チューブ長さ(m)5以内 流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時) 材質(ダイアフラム)FKM,FFKM 応差(mm)2 応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
1台
37,950 税込41,745
3日以内出荷から15日以内出荷
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設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適 仕様【KML60-4】(スイッチング水位)10~1000mm/ユーザー任意接点4点 電源電圧【KML60-4】DC12~24V ±10% 電圧リップル率 5%以下 チューブ長さ(m)5以下 スイッチ出力【KML60-4】NPNオープンコレクタ4点(DC28V 80mA 以下)
1台
108,075 税込118,883
32日以内出荷から85日以内出荷
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EMBシリーズ メタルフリー薬液用2ポート電磁弁 CKD CADデータあり
1個
17,439 税込19,183
当日出荷から13日以内出荷
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チェック弁(ノズルタイプ) CCNシリーズ CKD 動画あり
ノズルと一体化したチェック弁です。コンパクトになりました。クーラント、洗浄液、冷却水等の液体をピタッと止めることで、次工程へのスムーズな移行により、作業性を向上・タクトタイムアップに貢献します。スプリング、主弁体摺動部を流体通路部からなくし、異物の噛み込みや詰まりによる不具合が発生しにくい構造にしました。Oリングシール+メタルタッチ構造により、長期に渡る安定した内部シール性を実現し、長寿命化を図りました。噴射方向を簡単に調整できるようにしました。(OUT側接続口径:4.5.6選択時)。金属部のオールステンレス化により、クーラント液用途以外にもレーザー加工機の冷水や洗浄装置など、様々なシーンで使用可能です。
用途クーラント、洗浄液、冷却水等の液だれ防止 使用流体クーラント液・水・その他腐食性のない液体 クラッキング圧力(kPa)25(参考値) 粘度(mm2/s)【流体粘度】500以下 最高使用圧力(MPa)1 耐圧力(MPa)2(水圧にて) 圧力(kPa)【閉止圧力】10(水頭:1m) 流体温度(℃)-10~60(凍結なきこと) 周囲温度(℃)-10~60 取付姿勢自在 材質(ボディ)SUS303 材質(Oリング)FKM
1個
7,388 税込8,127
6日以内出荷から15日以内出荷
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欧州規格に対応したメタルフリーの小形薬液用3ポート電磁弁です。接液部材質は、ボディ材質がPEEK(樹脂材)、シール材質がFKM(ゴム材)を採用し、高耐食なメタルフリー構造です。1000万回の高寿命です。(メーカー試験条件による)。内部容積が19μlで、電磁弁内部の洗浄が容易です。試薬などの無駄も削減できます。使用圧力範囲を-0.08~0.2MPaに拡大しました。(従来品:-0.05~0.1MPa)。省エネ対応として、省電力基板を標準搭載し、装置の消費電力削減に貢献します。10mm巾の薄形設計で、超小形、省スペースです。バルブピッチ11mmで設置可能です。CEマーキングに対応しています。
用途微量の薬液制御に 分析装置の分注工程に ポート数3 材質(シール)FKM 使用圧力(MPa)-0.08~0.2 作動方式ユニバーサル形 オリフィス径(Φmm)1 使用流体水、純水、薬液(接液部の材質を腐食させない流体) 材質(ボディ)PEEK 耐熱クラスクラス130(B) 耐圧力(MPa)(水圧にて)0.4 周囲温度および使用流体温度(℃)5~50 取付姿勢自在 雰囲気爆発性・腐食性雰囲気でないこと 弁構造ダイアフラム式直動(ロッカータイプ) 弁座漏れ(cm3/min)(水圧にて)0 RoHS指令(10物質対応)対応 流量特性(CV値)0.03 内部ボリューム(μL)19
1台
6,380 税込7,018
9日以内出荷から14日以内出荷
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CVE2シリーズ 高圧用 クーラント用2ポート弁 CKD CADデータあり
1個
59,263 税込65,189
8日以内出荷
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CVE3シリーズ 中圧用 クーラント用3ポート弁 CKD CADデータあり
ポート数3 切換方式ディレクショナル形(Cポート加圧専用) 種類エアオペレート式 接続方式Rc 使用流体クーラント液・その他腐食性のない液体
1個
54,980 税込60,478
8日以内出荷
バリエーション一覧へ (24種類の商品があります)

CVE3シリーズ 高圧用 クーラント用3ポート弁 CKD CADデータあり
ポート数3 切換方式ディレクショナル形(Cポート加圧専用) 種類エアオペレート式 接続方式Rc 使用流体クーラント液・その他腐食性のない液体
1個
62,980 税込69,278
8日以内出荷
バリエーション一覧へ (18種類の商品があります)

CVSE3シリーズ クーラント用3ポート弁(電磁弁付) CKD CADデータあり
ポート数3 切換方式ディレクショナル形(Cポート加圧専用) 種類電磁式 接続方式Rc 使用流体クーラント液・その他腐食性のない液体
1個
62,838 税込69,122
6日以内出荷から8日以内出荷
バリエーション一覧へ (506種類の商品があります)

欧州規格に対応したメタルフリーの小形薬液用2ポート電磁弁です。接液部材質は、ボディ材質がPEEK(樹脂材)、シール材質がFKM(ゴム材)を採用し、高耐食なメタルフリー構造です。1000万回の高寿命です。(メーカー試験条件による)。内部容積が19μlで、電磁弁内部の洗浄が容易です。試薬などの無駄も削減できます。使用圧力範囲を-0.08~0.2MPaに拡大しました。(従来品:-0.05~0.1MPa)。省エネ対応として、省電力基板を標準搭載し、装置の消費電力削減に貢献します。10mm巾の薄形設計で、超小形、省スペースです。バルブピッチ11mmで設置可能です。CEマーキングに対応しています。
用途微量の薬液制御に 分析装置の分注工程に ポート数2 材質(シール)FKM 使用圧力(MPa)-0.08~0.2 オリフィス径(Φmm)1 使用流体水、純水、薬液(接液部の材質を腐食させない流体) 材質(ボディ)PEEK 耐熱クラスクラス130(B) 耐圧力(MPa)(水圧にて)0.4 周囲温度および使用流体温度(℃)5~50 取付姿勢自在 雰囲気爆発性・腐食性雰囲気でないこと 弁構造ダイアフラム式直動(ロッカータイプ) 弁座漏れ(cm3/min)(水圧にて)0 RoHS指令(10物質対応)対応 流量特性(CV値)0.03 内部ボリューム(μL)19
1台
6,380 税込7,018
9日以内出荷
バリエーション一覧へ (16種類の商品があります)