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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 1段排気方式
ULVAC(アルバック)￥129,800～税込￥142,780～1台翌日出荷から9日以内出荷ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。 分析機器、理化学機器。 半導体検査装置。 デバイス組立。 自動機、包装機。
