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ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
周波数(Hz)50/60
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。
低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。
取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。
ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。真空排気装置、電子顕微鏡のバック。半導体製造装置。真空蒸着装置、凍結乾燥器。医療用機器全般。
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類油回転
マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。
ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器、真空排気装置、電子顕微鏡のバック、半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置、真空乾燥器、凍結乾燥器
幅(mm)170
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
使用温度範囲(℃)7~40
ポンプの種類油回転
減圧・加圧両用タイプのダイアフラム型真空ポンプは、吸気口に配管することにより、真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
小型、軽量、低価格
サーマルプロテクターを内蔵し、安全面も考慮
シンプルな構造でメンテナンスも容易
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機
使用温度範囲(℃)7~40
周波数(Hz)50/60
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
接ガス部にPTFEなどの耐食性に優れた部品を使用した、ケミカルタイプのダイアフラム型真空ポンプです。
用途ロータリーエバポレーター。真空濃縮、真空ろ過、遠心分離。真空乾燥。レーザーガス循環。医療機器、製薬用機器。特殊ガス充填。分析機器、理化学機器。
仕様サーマルプロテクタ付
トラスコ品番398-1550
幅(mm)142
質量(kg)7.3
高さ(mm)202
奥行(mm)288.5
電圧(V)100
電源AC
到達圧力(Pa)1000
排気速度(50/60Hz)(L/min)20/24
吐出口径O.D.Φ10mm×I.D.Φ6mm(G1/4)
吸込口径O.D.Φ10mm×I.D.Φ6mm(G1/4)
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
1台
¥189,800
税込¥208,780
当日出荷
ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。
電圧(V)100
電源AC
騒音値(dB(A))(50/60Hz)-
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
大排気量でコンパクトサイズ。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。
自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
大気圧から作動が可能。
全圧力帯での連続運転が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
質量(kg)12
電源AC
到達圧力(Pa)10000
排気速度(50/60Hz)(L/min)180/200
吐出口径Rc3/8
吸込口径Rc3/8
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
排気音低騒音タイプです。油漏れ防止のマグネットカップリングを採用しました。
幅(mm)150
質量(kg)22
高さ(mm)234.5
奥行(mm)413.5
電圧(V)100
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
排気速度(50/60Hz)(L/min)100/120
油量(mL)1000
使用油R-2
アズワン品番1-1854-02
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
1台
¥179,800
税込¥197,780
翌日出荷
カップパッキン(特殊樹脂)がシリンダー内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。大きな排気速度を有していますが、消費電力が低く環境にやさしい真空ポンプです。また、寿命試験では18000時間をクリアした長寿命配慮となっています。(DOP-300SA実機試験による)
用途真空チャック、真空ピンセット。食品包装機、真空成型機。吸着搬送。自動機等の真空吸着搬送。真空包装、印刷機械。吸引機。チップマウンター。
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
接ガス部にPTFEを使用する事で、耐薬品性、耐食性に優れた真空ポンプです。
有機溶媒や腐食性ガスを吸引する用途に最適です。
耐薬品性に優れて、しかも高真空。
小型、省スペース。低騒音、低振動。低消費電力。
長寿命で、メンテナンスも容易。
用途医療機器、分析機器、理化学機器。
各種実験用真空源。
使用温度範囲(℃)0~40
電圧(V)100
電源AC
到達圧力(Pa)1000
主な用途医療機器、分析機器、理化学機器。各種実験用真空源。
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
用途蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に、分析機器、リークテスト装置に、真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に
仕様サーマルプロテクタなし
材質シリンダー:鋳鉄、ポンプケース:アルミ鋳物
電圧(V)(50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
使用油R-7
吐出口径VG-40
特性ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用してます。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。
ポンプの種類油回転
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。
用途濃縮機などの化学機器。半導体製造装置。製薬機械。薬品処理後の乾燥。
仕様耐食型、2段式、サーマルプロテクター内蔵
使用温度範囲(℃)7~40
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
使用油SO-M
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。
有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプのケミカルタイプ
自動復帰型のサーマルプロテクタ内蔵による安全設計
大気圧からの作動が可能
シンプル構造で、メンテナンスが容易
幅(mm)203
質量(kg)27.5
高さ(mm)300
奥行(mm)411
電圧(V)100
電源AC
到達圧力(Pa)0.001
排気速度(50/60Hz)(L/min)120/140
全負荷電流(A)50Hz/5.1、60Hz/6
使用電動機単相、100V、400W、4P、コンデンサ運転
吐出口径O.D.Φ16mm×I.D.Φ10mm(G1/2)
吸込口径O.D.Φ16mm×I.D.Φ10mm(G1/2)
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
1台
¥179,800
税込¥197,780
15日以内出荷
大排気量でコンパクトサイズ。
排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
自動復帰型のサーマルプロテクタ内蔵による安全設計。
大気圧からの作業が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
仕様加圧専用
トラスコ品番850-9584
幅(mm)168.5
質量(kg)9
高さ(mm)181
奥行(mm)288
電圧(V)100
電源AC
排気速度(50/60Hz)(L/min)80/84
全負荷電流(A)5/5.5(50/60Hz)
使用電動機単相、100V、300W、4P、コンデンサ運転
吐出口径O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4)
吸込口径O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4)
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
1台
¥89,980
税込¥98,978
20日以内出荷
ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。
仕様サーマルプロテクタ付
幅(mm)388
質量(kg)37
高さ(mm)274
奥行(mm)523.6
電圧(V)200
電源AC
吐出口径O.D.Φ21mm×I.D.Φ15mm(G1/2)
吸込口径O.D.Φ21mm×I.D.Φ15mm(G1/2)
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
モータ直結型で小型・軽量。取扱いが簡単でラボにぴったり。サーマルプロテクターを内蔵しており、連続運転も安心です。高真空が得られる2段排気方式です。持ち運びが簡単。装置組込用としても最適です。
使用油SMR-100
使用可能雰囲気温度(℃)7~40
接ガス部に油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。大排気量でコンパクトサイズです。大気圧から作動が可能です。
用途自動機などの真空吸着搬送。真空包装、印刷機械。吸引機。チップマウンター。
トラスコ品番859-4209
幅(mm)139.5
高さ(mm)167
奥行(mm)255
電圧(V)200-220
電源AC
到達圧力(Pa)8000
吐出口径Rc1/4
2018年トラスコ掲載ページ7 0743
吸込口径Rc1/4
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
1台
¥78,980
税込¥86,878
翌日出荷
ダイアフラム式のドライ真空ポンプです。
長時間の連続運転に耐え保守も容易です。
仕様●排気速度(L/min):60/72(50/60Hz)●到達圧力(kPa):3.32●吸気口径(OD)×(ID)mm:14×9●サーマルプロテクター内蔵●電源:1Φ200V 50/60Hz●サイズ(mm):156×358×238●重量(kg):19●接ガス部材質:ポンプヘッド/アルミダイキャスト、吸排気弁/SUS、ダイアフラム/EPDM(エチレンプロピレンゴム)●※アンローダーバルブ(ダイアフラム型ドライ真空ポンプを止めた際、ポンプヘッド内部に大気を素早く導入し、ポンプヘッドと外側の差圧を無くす機構です)を内蔵。●原産国:日本
アズワン品番67-4507-12
1台
¥189,800
税込¥208,780
7日以内出荷
DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。
マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。
ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。
ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。
用途分析機器、CVD装置に、真空乾燥器、凍結真空乾燥器、Heリークテスト、CO2ガスレーザー、真空脱泡、真空熱処理、液晶注入
トラスコ品番129-8772
幅(mm)167
質量(kg)11
高さ(mm)130
奥行(mm)410
電圧(V)100-120/200-240
電源AC
到達圧力(Pa)0.04
排気速度50m3/h
吐出口径VF-40
吸込口径VG-40
ポンプの種類油回転
1台
¥439,800
税込¥483,780
60日以内出荷
用途医療機器、産業機器に
仕様ロック保護・過電流保護機能付
幅(mm)83.5
質量(kg)1.75
高さ(mm)123.8
奥行(mm)165
電圧(V)24
電源DC
騒音値(dB(A))(50/60Hz)-
吐出口径Rc1/8
吸込口径Rc1/8
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。加圧専用タイプもあります。自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。大気圧からの作動が可能。
用途自動機等の真空吸着搬送。真空包装、印刷機械。吸引機。チップマウンター。樹脂等の脱気。
高さ(mm)231
周波数(Hz)50/60
規格TUV認証取得品
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ
自動復帰型サーマルプロテクら内蔵による安全設計
大気圧からの作動が可能
シンプル構造で、メンテナンスが容易
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
大排気量でコンパクトなサイズです。
特殊樹脂製ピストンリングの上下運動を利用して排気を行う揺動ピストン型ドライポンプです。
油を使用していませんので、クリーンな減圧ができます。
仕様(吸排気管径)Rc1/2
質量(kg)23
サイズ316×434×231mm
電源3Φ200V
到達圧力(kPa)12
速度(実効排気)400/440(L/min)
アズワン品番1-4146-09
1台
¥269,800
税込¥296,780
33日以内出荷
マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れがなく、長寿命化を実現。
吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放。
低騒音で低振動。
強制給油機構搭載により、排気速度が安定。
大気圧からの作動が可能。
内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。
幅(mm)120
質量(kg)9.3
高さ(mm)163
奥行(mm)288.5
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
排気速度(50/60Hz)(L/min)30/36
油量(mL)370
使用油R-2
吸込口径KF-16
ポンプの種類油回転
低騒音で低振動。
2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力(良い真空)
逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。
強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。
大気圧からの作動が可能。
内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。
トラスコ品番850-9596
幅(mm)181
質量(kg)34
高さ(mm)269
奥行(mm)536
電圧(V)200-240/380-460
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
排気速度(50/60Hz)(L/min)280/336
全負荷電流(A)【50Hz】3.6(200V)、3.7(220V)、4(230V)、4.2(240V)、2.1(380V)、2.3(400V)、2.4(415V)、【60Hz】3.3(200V)、3.2(220、230、240V)、1.9(380、400、440V)、2(460V)
使用電動機3相、200-240V/380-460V、750W、4P
油量(mL)700~1100
使用油R-7
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
1台
¥289,800
税込¥318,780
欠品中
大排気量でコンパクトサイズ。
排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
大気圧からの作業が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
電圧(V)200-277/346-480
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類回転翼形
大排気量でコンパクトサイズ!
特殊樹脂製ピストンリングの上下運動を利用して排気を行う揺動ピストン型ドライポンプです。
油を使用していませんので、クリーンな減圧ができます。
仕様(吸排気管径)RC3/8
質量(kg)12
サイズ172×266×235mm
電源1Φ AC100V 50/60Hz
排気速度(L/min)(実効)180/200(50/60Hz)
到達圧力(kPa)10
アズワン品番1-4146-06
1台
¥89,980
税込¥98,978
7日以内出荷
排気音低騒音タイプです。
油漏れ防止対策のマグネットカップリングを採用しました。
仕様(吸気口径)KF-16
材質アルミニウム・合成ゴム他
質量(kg)9.3
サイズ120×288.5×163mm
電源単相100~120V
排気速度(L/min)30/36(50/60Hz)
到達圧力(Pa)0.67
対応(オイルミストトラップ)OMT-050A
排気口(径)G-3/4
アズワン品番1-1854-01
1台
¥149,800
税込¥164,780
翌々日出荷
接ガス部にベアリングのない高湿ガス対応設計です。
エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止します。
油を使用していないため、クリーンな排気が可能です。
仕様(吸気口径/排気口径(内部メネジサイズ))NW25(内径ネジRc3/8)/NW16(吐出弁付き)
材質(接ガス部)吸気管・排気管/ステンレス、スクロール/アルミニウム、Oリング/フッ素ゴム、Pシール/テフロン樹脂
質量(kg)17
サイズ221×380×218mm
電源単相 100/115/200/230V、300W 2P(コンデンサ始動・運転)
排気速度(L/min)100/120(50/60Hz)
到達圧力(Pa)20
アズワン品番1-9199-21
定格電流(V)(全負荷)50Hz:2.6/1.3/1.4(100/200/230)、60Hz:2.9/2.8/1.6/1.4(100/115/200/230)
処理量(水蒸気)≦100g/日(AF開時)
1台
¥449,800
税込¥494,780
翌々日出荷
低音低振動です。
ベルトレスでモーター直結のため装置への組み込みが容易です。
仕様(オイル使用)SMR-100(付属)
質量(kg)5
サイズ130×203×159.5mm
タイプ二段式
電源(V)単相100
到達圧力(Pa)6.7
排気速度(50/60Hz)(L/min)(実効)5/6
対応(オイルミストトラップ)OMT-050A
口径(mm)(吸気)12×6((OD)M20×(ID)P1)
アズワン品番1-672-28
オイル量(mL)180
1台
¥79,980
税込¥87,978
当日出荷
USBケーブルによりスマートフォンとダイレクトに接続が可能なピラニ真空計です。お客様がお持ちのスマートフォンで手軽に真空計測が可能です。専用の電源や、ディスプレイは必要ありません。
パソコンとの接続も可能です。
AC電源不要:専用の電源が不要です。
軽量・コンパクト:寸法Φ46×81mm、重量85g(NW16仕様)。ULVACのピラニ真空計ラインナップの中で最小・最軽量。
優れた耐衝撃性:ULVAC独自の構造(特許番号6595945)及び本体保護ラバーの採用により、耐衝撃性に優れています。
広帯域測定:測定圧力範囲は5×10-2~1×10+5Pa。
豊富なフィッティングラインナップ:NW16、R1/8をはじめ、計7種類のフィッティングをラインナップ。
適合規格:CE標準対応
用途真空ポンプメンテナンス時の到達圧力確認。真空装置メンテナンス時の圧力確認
各種真空装置に用いられる油回転し空ポンプ専用のオイルフィルトレーション装置です。
使用しているエレメントは、水分・Ⅲ・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。
真空ポンプとポンプ油を長期にわたって清浄に保ち、真空ポンプの故障、オイル交換の低減をはかることが可能になります。
ユーザビリティ向上:パソコン / スマートフォン接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能です。大気圧から低真空領域(0.05~100000Pa)の測定が可能です。気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。フィラメントには耐久性に富んだ白金を採用しています。JCSS校正も可能です。
用途太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空測定に。真空炉をはじめとする各種産業機器の低真空測定に。大気圧からの広帯域の真空測定に。各種分析装置
トラスコ品番560-8177
セット内容SW1-100/SWP16
材質測定子フィラメント・白金(Pt)
フランジ取合い:NW16
電源電圧(V)DC24
測定圧力0.05~100000(Pa)
測定子SWP-16
1台
¥76,980
税込¥84,678
翌日出荷
油回転真空ポンプGLD-202AA/GLD-202BB用のメンテナンス部品一式のセットとなります。、メンテナンスキットAとメンテナンスキットBがあり、構成部品の内訳が異なります。
油回転真空ポンプGLD-137AA/GLD-137CC用のメンテナンス部品一式のセットとなります。、メンテナンスキットAとメンテナンスキットBがあり、構成部品の内訳が異なります。
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