用途蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に、分析機器、リークテスト装置に、真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に
仕様サーマルプロテクタなし
材質シリンダー:鋳鉄、ポンプケース:アルミ鋳物
電圧(V)(50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
使用油R-7
吐出口径VG-40
特性ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用してます。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。
ポンプの種類油回転
DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。
マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。
ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。
ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。
用途分析機器、CVD装置に、真空乾燥器、凍結真空乾燥器、Heリークテスト、CO2ガスレーザー、真空脱泡、真空熱処理、液晶注入
トラスコ品番129-8772
幅(mm)167
質量(kg)11
高さ(mm)130
奥行(mm)410
電圧(V)100-120/200-240
電源AC
到達圧力(Pa)0.04
排気速度50m3/h
吐出口径VF-40
吸込口径VG-40
ポンプの種類油回転
1台
¥439,800
税込¥483,780
60日以内出荷
排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。漏れ検査のあらゆる場面で、活躍します。わずかな漏れも見逃さない5L/secのヘリウム排気速度で、ワイヤレスコントローラで40m先からも操作可能です。本体から独立したタブレット型コントローラの採用しています。真空法はヘリウムの他に水素の検出が可能です。
検知ガス4He、2H2
排気速度【主排気ポンプ】ターボ分子ポンプ31 L/sec、【粗引きポンプ】油回転30/36(50/60Hz)L/min
質量(kg)約33(約46)(フロアーカート付)
消費電力(VA)600
入力電圧(V)100~120または200~240
形状【テストポート】NW25(ISO)
セット内容本体(HELIOT901W1)、タブレット、AC電源ケーブル、コントローラケーブル2mセット(CONT-SET)、タブレット固定用ディスク、スニッファー、スニッファー取付クランプ、Oリング、メクラ蓋、取扱説明書(CD-R)、取扱説明書、収納ケース
仕様【最小可検リーク量(4He)】< 5×10-13 Pa・m3/sec、【リーク量表示範囲】4He:0.01×10-12~10-3 Pa・m3/sec2H2:0.01×-8~10×-5 Pa・m3/sec、【テストポート排気速度(4He)】5 L/sec、【最大接続圧力】1200Pa
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