異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実:アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中):真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5~1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)
仕様SWT-16(NW16)・SWT-25(NE25)、ピラニ真空計(0.5mケーブル付き)、大気圧センサ(0.5mケーブル付き)
出力(測定値)出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
使用温度範囲ST200-A(10~50℃)
表示器SWU10-R
測定子電離真空計測:ISG1、ピラニ測:SAU(NW16)
外寸法(mm)ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。大気圧から高真空領域(1×10[[の5乗]]~1×10[[の-5乗]]Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。
用途有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に。真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に。ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に。真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に。真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に。
1セット
¥339,800
税込¥373,780
59日以内出荷
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。大気圧から高真空領域(1×10^+5~1×10^-8Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。
用途半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に。インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に。高真空・超高真空装置の圧力測定に。
1セット
¥339,800
税込¥373,780
59日以内出荷
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