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接ガス部に油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。大排気量でコンパクトサイズです。大気圧から作動が可能です。

接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。加圧専用タイプもあります。自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。大気圧からの作動が可能。