マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れがなく、長寿命化を実現。
吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放。
低騒音で低振動。
強制給油機構搭載により、排気速度が安定。
大気圧からの作動が可能。
内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。
幅(mm)120
質量(kg)9.3
高さ(mm)163
奥行(mm)288.5
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
排気速度(50/60Hz)(L/min)30/36
油量(mL)370
使用油R-2
吸込口径KF-16
ポンプの種類油回転
用途蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に、分析機器、リークテスト装置に、真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に
仕様サーマルプロテクタなし
材質シリンダー:鋳鉄、ポンプケース:アルミ鋳物
電圧(V)(50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
使用油R-7
吐出口径VG-40
特性ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用してます。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。
ポンプの種類油回転
関連キーワード