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接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。
用途濃縮機などの化学機器。半導体製造装置。製薬機械。薬品処理後の乾燥。
仕様耐食型、2段式、サーマルプロテクター内蔵
使用温度範囲(℃)7～40
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
使用油SO-M
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
動画あり
使用温度範囲(℃)7～40
ポンプの種類油回転
動画あり
周波数(Hz)50/60
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
動画あり
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
動画あり
小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。
低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。
取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。
ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。真空排気装置、電子顕微鏡のバック。半導体製造装置。真空蒸着装置、凍結乾燥器。医療用機器全般。
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類油回転
動画あり
マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。
ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器、真空排気装置、電子顕微鏡のバック、半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置、真空乾燥器、凍結乾燥器
幅(mm)170
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
減圧・加圧両用タイプのダイアフラム型真空ポンプは、吸気口に配管することにより、真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
小型、軽量、低価格
サーマルプロテクターを内蔵し、安全面も考慮
シンプルな構造でメンテナンスも容易
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機
使用温度範囲(℃)7～40
周波数(Hz)50/60
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
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