ユーザビリティ向上:パソコン / スマートフォン接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能です。大気圧から低真空領域(0.05~100000Pa)の測定が可能です。気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。フィラメントには耐久性に富んだ白金を採用しています。JCSS校正も可能です。
用途太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空測定に。真空炉をはじめとする各種産業機器の低真空測定に。大気圧からの広帯域の真空測定に。各種分析装置
トラスコ品番560-8177
セット内容SW1-100/SWP16
材質測定子フィラメント・白金(Pt)
フランジ取合い:NW16
電源電圧(V)DC24
測定圧力0.05~100000(Pa)
測定子SWP-16
1台
¥76,980
税込¥84,678
当日出荷
GLS-051/GLD-051/GCD-051X用のベーンスプリングです。
トラスコ品番152-7128
適合機種GLS-051/GLD-051/GCD-051X
材質SWP-A
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥329
税込¥362
当日出荷
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。大気圧から高真空領域(1×10[[の5乗]]~1×10[[の-5乗]]Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。
用途有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に。真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に。ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に。真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に。真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に。
トラスコ品番353-7437
セット内容ST200-A、SWU10-R、ST200用測定子SWT-16、SWU10-R専用測定子SWP-16
材質測定子フィラメント:白金(Pt)
電源電圧(V)100~240
測定子SWT-16/SWP-16
取合フランジNW16
圧力測定範囲(Pa)1×10[[の5乗]]~1×10[[の-5乗]]
1セット
¥339,800
税込¥373,780
59日以内出荷
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。大気圧から高真空領域(1×10^+5~1×10^-8Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。
用途半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に。インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に。高真空・超高真空装置の圧力測定に。
トラスコ品番353-7438
セット内容SH200-A、SWU10-R、SH200用測定子M44、SWU10-R専用測定子SWP-16
材質測定子フィラメント・白金(Pt)
電源電圧(V)100~240
測定子M-44(NW-16)/SWP-16
取合フランジNW16
圧力測定範囲(Pa)1×10[[の5乗]]~1×10[[の-8乗]]
1セット
¥339,800
税込¥373,780
59日以内出荷
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