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専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

自動ステージとコントローラまたはドライバ間の接続ケーブルです。

小型高性能ステッピングモータと精密研削ネジを組合せた低価格のアクチュエータです。

リモートアクチュエータ(SGDC)専用のコントローラとアクチュエータの切替スイッチボックスです。

手動ステージに使用しているマイクロメーターヘッドの取り付け部分と互換性を持った製品です。

手動ステージに使用しているマイクロメーターヘッドの取り付け部分と互換性を持った製品です。

独自のウォームギア機構により、全移動量(13mm)にわたり粗動・微動の操作が可能な製品です。コンパクトなデザインにより、装置の小型化や調整時間の削減が可能です。

マイクロメーターヘッドを取り外す場合や締付けを行う場合に必要な専用工具です。

手動ステージ、ホルダーなどに使用している移動量15mm以下のマイクロメーターヘッドです。

6軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ、Z軸フラットスチールステージ、θ軸粗微動ステージ、αβ軸小型ゴニオステージ、αβ軸ゴニオステージを組合せたものです。

5軸方向の微調整用精密ステージです。

4軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ・Z軸フラットスチールステージ・θ軸粗微動ステージを組合せたものです。

位置・アライメント調整に最適で、滑らかな移動が得られます。

アリ溝にウォームギアを採用した姿勢調整(角度調整や補正)に使用するゴニオステージです。

粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式のθ軸(回転)粗微動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

主要素材にアルミを使用していますが、移動ガイドにボールガイドを採用しているため、高耐荷重にも優れています。

V溝ガイドとネジ送り方式を採用したコストパファーマンスに優れたゴニオステージです。ネジ送り機構は接触面積が大きく耐久性に優れています。

V溝ガイドとネジ送り方式を採用したコストパファーマンスに優れたゴニオステージです。ネジ送り機構は接触面積が大きく耐久性に優れています。

□65mmでM6仕様、姿勢調整や試料の傾斜回転などに使用するアリ溝・ウォームギア式のαβ軸ゴニオステージです。

□65mmでM6仕様、姿勢調整や試料の傾斜回転などに使用するアリ溝・ウォームギア式のα軸ゴニオステージです。

アリ溝にウォームギアを採用した姿勢調整(角度調整や補正)に使用するゴニオステージです。

アリ溝にウォームギアを採用した姿勢調整(角度調整や補正)に使用するゴニオステージです。

アリ溝にウォームギアを採用した姿勢調整(角度調整や補正)に使用するゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。滑らかな移動が得られるため、頻繁に操作する用途に最適です。クランプ時の安定性を向上させるためディスククランプを採用しています。ガイド一体型構造により、回転中位置変位量Φ0.007mm以下の高性能を実現しました。アタッチメントピン(GOHT-AP)は、単品でもご用意しています。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

ウォームギアで駆動させるため360°にわたり精密な調整が可能な回転ステージです。