高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
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高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
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高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
メーカー独自の位置決め技術とステージ等の生産で培った加工技術により、高性能・低価格を両立させた対物レンズポジショナーです。ハイスループットを要求される生産装置・検査装置に最適なレンズポジショナーを提案いたします。
お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。X軸セット/手軽に直進1方向の自動位置決めとJOG駆動を行うことができます。XY軸セット/XY軸自動アライメント、パソコン無しでプログラム運転が可能です。XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。XYZ軸セット/計測・検査装置やワークのXYZ軸自動位置決め用途に最適です。
ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
用途計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無、同心度:30μm
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
種類回転ステージ
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
面振れ(mm)0.02
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
ロストモーション(°)0.05
バックラッシ(°)0.08
原点センサ無
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