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エコ商品
ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ：無
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
種類回転ステージ
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
電源電圧(V)DC5～24±10%
消費電流(mA)15以下
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
移動ガイドベアリング方式
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
ロストモーション(°)0.05
原点センサ無
ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。
用途計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ：無、同心度：30μm
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
種類回転ステージ
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
面振れ(mm)0.02
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
ロストモーション(°)0.05
バックラッシ(°)0.08
原点センサ無
真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
粗微動切替えクランプを緩めることで全周360°の粗動回転が、粗微動切替えクランプを締めればマイクロメータヘッドおよびネジ式により、その位置から±5°の微調整ができます。
ステージ中央に貫通穴があいているため、透過用としてご利用いただけます。
材質真鍮
ストローク粗360°微±5°(回転)
精度0.02/0.02(同芯度/面振れ)(回転)
表面処理スーパーブラッククローム
半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
5相ステッピングモータドライバを内蔵した1軸のステージコントローラです。
RS232Cインターフェイスによる外部制御と、フロントパネルのジョグスイッチ、外部I/Oによるジョグ駆動が可能です
質量(kg)0.4
電源電圧(V)DC24、1.3A
外形寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)47×90×125
保存温度(℃)-20～60
消費電力(VA)32
周囲湿度(%RH)20～80
動作温度(℃)5～40
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
￥33,980
税込￥37,378
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お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。X軸セット/手軽に直進1方向の自動位置決めとJOG駆動を行うことができます。XY軸セット/XY軸自動アライメント、パソコン無しでプログラム運転が可能です。XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。XYZ軸セット/計測・検査装置やワークのXYZ軸自動位置決め用途に最適です。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。
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