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ボールガイドのX軸とフラットZ軸ステージを組合せたXZ軸ステージです。

ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化したZ軸ステージです。

ボールネジとボールガイドを採用した、高精度・耐久性に優れた自動直動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ステージ面が長方形の軽量で高精度な直動ステージです。

水平面方向のマイクロメーターを操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。

小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。

ウォームギアで駆動させるため360°にわたり精密な調整が可能な回転ステージです。

ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージです。移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑らかな移動が得られます。

粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式のθ軸(回転)粗微動ステージです。

マイクロメーターヘッドを移動するステージ側に、マイクロあてをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。

本体材質にはSUS440C相当、表面処理には無電解ニッケルメッキ処理を施しており防錆に優れています。※マイクロメーターヘッドを固定している部品やマイクロメーターヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。※ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

焼入れされたスチールステージ製の本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高剛性汎用型ステンレスステージです。

高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。 上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。

アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ネジ送りタイプの大型直動ステージです。

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。

4軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ・Z軸フラットスチールステージ・θ軸粗微動ステージを組合せたものです。

お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。X軸セット/手軽に直進1方向の自動位置決めとJOG駆動を行うことができます。XY軸セット/XY軸自動アライメント、パソコン無しでプログラム運転が可能です。XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。XYZ軸セット/計測・検査装置やワークのXYZ軸自動位置決め用途に最適です。

同軸落射照明、スポット照明用途のLED照明です。メーカーズームマイクロスコープ、超長作動ズームマイクロスコープ、同軸照明付観察ユニット、各種テレセントリックレンズ等の同軸落射照明用としてご使用いただけます。

同軸落射照明、スポット照明用途のLED照明です。メーカーズームマイクロスコープ、超長作動ズームマイクロスコープ、同軸照明付観察ユニット、各種テレセントリックレンズ等の同軸落射照明用としてご使用いただけます。