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□65mmでM6仕様、姿勢調整や試料の傾斜回転などに使用するアリ溝・ウォームギア式のαβ軸ゴニオステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
移動ガイドボールガイド
テーブル幅(mm)65
テーブル長さ(mm)65
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。
シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。滑らかな移動が得られるため、頻繁に操作する用途に最適です。クランプ時の安定性を向上させるためディスククランプを採用しています。ガイド一体型構造により、回転中位置変位量Φ0.007mm以下の高性能を実現しました。アタッチメントピン(GOHT-AP)は、単品でもご用意しています。
シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。
□65mmでM6仕様、姿勢調整や試料の傾斜回転などに使用するアリ溝・ウォームギア式のα軸ゴニオステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式のθ軸(回転)粗微動ステージです。
ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化したZ軸ステージです。
高剛性一体ガイドから、セパレート型へ進化し、低価格・高剛性・軽量化を実現しました。
アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式で、装置組込用途に適したブロックステージです。
突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用XYZ軸ステージです。
仕様テーブル面サイズ:15×15mm、主要材質:シンチュウ、表面処理:黒つや消し、ネジピッチ:0.4mm、耐荷重:4.9N(0.5kgf)、移動精度/真直度:30μm、許容モーメント荷重/ピッチング:-、許容モーメント荷重/ローリング:-、許容モーメント荷重/ヨーイング:-、モーメント剛性/ピッチング:-、モーメント剛性/ローリング:-、平行度:200μm、質量:0.04kg、
種類XYZ軸
移動ガイドアリ溝方式、
ストローク(X距離)(mm)±2
ストローク(Y距離)(mm)±2
ストローク(Z距離)(mm)+2・-0
テーブル面上の試料を、任意の角度に傾き調整やあおり調整をするための傾斜ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
アリ溝ガイド・ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。
テコの原理を利用して水平方向のマイクロメーター操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
テーブル面上の試料を、任意の角度に傾き調整やあおり調整をするための傾斜・回転ステージです。小型であり薄型であるため、制約のあるスペースや光学系を小さく使用したい場合に有効です。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
位置・アライメント調整に最適で、滑らかな移動が得られます。
突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用Z軸ステージです。
アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式で、装置組込用途に適したブロックステージです。
マイクロメーターヘッドを移動するステージ側に、マイクロあてをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。
突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用XZ軸ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージです。移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑らかな移動が得られます。
アリ溝ガイド・ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。
ウォームギアで駆動させるため360°にわたり精密な調整が可能な回転ステージです。
ボールガイドのX軸とフラットZ軸ステージを組合せたXZ軸ステージです。
Z軸フラットスチールステージTSDシリーズでは実現できなかった天井吊りに対応したステージです。
マイクロメーターヘッドを移動するステージ側に、マイクロ当てをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
クロスローラガイドのXY軸ステージと垂直タイプのZ軸ステージを組合せたステージです。
種類xyzステージ
耐荷重(N)49
送り方式マイクロメータ
移動ガイドクロスローラ
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