高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
3軸方向の微調整用精密ステージです。θ軸(回転)ステージを最上部に配置しているため、XY軸ステージにて心出し(例えば顕微鏡の目盛板との心出し調整)調整後、同心上でサンプルなどを回転させることができます。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
アリ溝ガイド・ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。
6軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ、Z軸フラットスチールステージ、θ軸粗微動ステージ、αβ軸小型ゴニオステージ、αβ軸ゴニオステージを組合せたものです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラガイドを使用した軽量で高精度な直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れたXY軸直動ステージです。
高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、低価格・高剛性・軽量化を実現しました。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。