突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用XYZ軸ステージです。
仕様テーブル面サイズ:15×15mm、主要材質:シンチュウ、表面処理:黒つや消し、ネジピッチ:0.4mm、耐荷重:4.9N(0.5kgf)、移動精度/真直度:30μm、許容モーメント荷重/ピッチング:-、許容モーメント荷重/ローリング:-、許容モーメント荷重/ヨーイング:-、モーメント剛性/ピッチング:-、モーメント剛性/ローリング:-、平行度:200μm、質量:0.04kg、
種類XYZ軸
移動ガイドアリ溝方式、
ストローク(X距離)(mm)±2
ストローク(Y距離)(mm)±2
ストローク(Z距離)(mm)+2・-0
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
種類XYZ軸
移動ガイドボールガイド
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
ストローク(X距離)(mm)±6.5
ストローク(Y距離)(mm)±6.5
ストローク(Z距離)(mm)±5
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
4軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ・Z軸フラットスチールステージ・θ軸粗微動ステージを組合せたものです。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式を使用した動作頻度が少なく微細な調整用途に適したXYZ軸ステージです。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
種類xyzステージ
移動ガイドボールガイド
テーブル幅(mm)40
テーブル長さ(mm)40
ストローク(X距離)(mm)6.5
ストローク(Y距離)(mm)6.5
ストローク(Z距離)(mm)3
アリ溝ガイド・ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
仕様【<XYZ軸フラットスチールステージ ステージサイズ□100mm>共通仕様】主要材質:鉄、表面処理:スーパーブラッククロム+黒つや消し、移動精度/真直度:2.5μm、許容モーメント荷重/ピッチング:9.8N・m、許容モーメント荷重/ローリング:9.8N・m、モーメント剛性/ピッチング:0.45″/N・cm、モーメント剛性/ローリング:0.45″/N・cm、平行度:150μm、【個別仕様】マイクロ操作位置:センター、移動量/1回転:0.5mm、マイクロメータ最小読取:0.01mm、耐荷重:245N(25.0kgf)、質量:6.1kg
種類XYZ軸
耐荷重(N)245
移動ガイドボールガイド
テーブル幅(mm)100
テーブル長さ(mm)100
ストローク(X距離)(mm)±12.5
ストローク(Y距離)(mm)±12.5
ストローク(Z距離)(mm)±10
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
6軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ、Z軸フラットスチールステージ、θ軸粗微動ステージ、αβ軸小型ゴニオステージ、αβ軸ゴニオステージを組合せたものです。
クロスローラガイドのXY軸ステージと垂直タイプのZ軸ステージを組合せたステージです。
種類xyzステージ
耐荷重(N)49
送り方式マイクロメータ
移動ガイドクロスローラ
Z軸・XZ軸・XYZ軸ステージの垂直タイプのステージ面に取り付け、L型ブラケットの上面に他のアクセサリーを取り付けます。
仕様【<L型ブラケット>共通仕様】主要材質:アルミ、表面処理:黒アルマイト
お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。X軸セット/手軽に直進1方向の自動位置決めとJOG駆動を行うことができます。XY軸セット/XY軸自動アライメント、パソコン無しでプログラム運転が可能です。XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。XYZ軸セット/計測・検査装置やワークのXYZ軸自動位置決め用途に最適です。
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