商品豆知識
フラックス洗浄液浸入防止用のシールテープ付。コンタクトは形XR2Aシリーズと同じ丸ピンタイプ4点接触構造。シールテープ材質は粘着部ポリエステル(透明)、非粘着部ポリプロピレン(黄色)。
使用温度範囲(℃)-55~+125(低温にて氷結しないこと)
絶縁抵抗(MΩ)103以上(DC500Vにて)
接触抵抗(mΩ)20以下(20mV以下、 100mA以下にて)
材質(ベース)PBT樹脂(UL94V-0)/黒色
耐電圧(V/min)AC1000(リーク電流1mA以下)
単体抜去力(N)0.64以上(Φ0.433テストゲージにて)
単体挿入力(N)3.92以下(Φ0.432テストゲージにて)
材質(キャリア)アルミニウム
電極間抵抗検知方式
交流検出方式
洗浄装置内の結露や周辺への液漏れを検出
ドレインパンへの液漏れを検出し、装置の破損やウエハの洗浄不良を防止
洗浄槽内の純水のレベルを検出。 高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止。
機能断線検出:あり
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